Lieferanten mit verifizierten Geschäftslizenzen
Geprüfter Lieferant Heißkathodendirektstrom-Plasma-Anlagen zur chemischen Gasphasenabscheidung (DCCVD) werden auf Basis herkömmlicher Kaltkathodenglühentladung entwickelt und werden hauptsächlich für die Abscheidung und das Wachstum von Diamant-Einkristall- oder polykristallinen Folien verwendet.
Die Glühentladung der Heißkathodendirektstrom Plasma chemischen Gasphasenabscheidung Ausrüstung kann in vier Bereiche entlang der Achse der Kathode zur Anode unterteilt werden: Kathodenglühschicht, Faraday dunklen Zone, positive Säule glühen Plasma Kugel und Anode glühen Schicht. Unter ihnen ist die Kathodenglühschicht eine dünne lichtemittierende Schicht nahe der Kathode, wo die riesige Wellenentladung auftritt, die eine wichtige Rolle bei der Glühentladung spielt; die Faraday-Dunkelzone ist die Übergangszone zwischen der Kathodenzone und der positiven Säulenzone. Die Elektronen kollidieren im Kathodenbereich und verlieren Energie, und die langsamen Elektronen reichen nicht aus, um Ionisation und Anregung zu verursachen, so dass sie einen dunklen Bereich darstellen, der kein Licht ausstrahlt; Die Glühplasmakugel im positiven Säulenbereich ist an der offensichtlichsten Position der Glühentladung, und seine Breite ist etwa die Kathode der Anodenabstand ist etwa 4/5, und die Länge ändert sich mit der Änderung der Anode und Kathodenabstand; Im Vergleich zum hellen positiven Säulenbereich gibt die Anodenglühschicht etwas dunkleres Licht ab.
Heiße Kathode, hoher Gasdruck und hohe Stromdichte sind die grundlegenden Eigenschaften der Heißkathodenglühentladung, die sich von der herkömmlichen Kaltkathodenglühentladung unterscheiden. Während der Entladung gibt es eine Verteilung der Leuchtintensität, Farbe und Helligkeit zwischen den Elektroden, die in vier offensichtliche Bereiche unterteilt sind. Die Glühentladung deckt die gesamte Kathodenoberfläche ab, und die Entladungsspannung steigt mit der Erhöhung des Entladungsstroms; die Kathodenelektronenemission wird durch die thermische Emission und den γ -Prozess kombiniert, und der Grad der Neigung zwischen den beiden wird hauptsächlich durch die Kathodentemperatur bestimmt; Die Kathodentropfzone ist, um das Leuchten der unverzichtbare Teil der Lichtentladung zu halten, die Dicke dieses Bereichs ist sehr dünn, es gibt ein hohes Potenzial Tropfen, so dass die Feldstärke in diesem Bereich ist sehr hoch, und erzeugen eine riesige Welle Entladung. Die Stromdichte der Heißkathodenglühentladung ist viel größer als die der Kaltkathodenglühentladung.
|
Positionskammer |
Wassergekühlter Zwischenschicht aus Edelstahl |
Die geeignete Kavitätsgröße entsprechend der Elektrodengröße entwerfen Um sicherzustellen, dass zwischen dem Hohlraum kein Entladen erfolgt Wand und Elektrode |
|
Offene Hohlraumöffnung |
Heben Sie den Hohlraum oder die Tür vor , bequem zum Loften und Reinigen |
|
|
Beobachtungsfenster |
Richten Sie mehrere Beobachtungsfenster ein, um sicherzustellen , dass Kathode, Anode und Abscheidetabelle beobachtet werden können |
|
|
Vakuumsystem |
Vakuumpumpe |
Vakuum wird durch mechanische Pumpe gepumpt, keine Notwendigkeit, molekulare Pumpe zu konfigurieren |
|
Ultimatives Vakuum |
0,1~1Pa |
|
|
Pumpenabschaltzeit |
5~15min |
|
|
Belüftungseinstellung |
Gleichmäßigkeit des Pumpens sicherstellen |
|
|
Einstellbereich Luftdruck |
0,1Pa~30KPa |
|
|
Freigabeventil |
Kann in die Atmosphäre wiederhergestellt werden |
|
|
Vakuummesser |
Hochpräzises Vakuummessgerät misst genau den Druckwert des Formnest |
|
|
Gasverteilungssystem |
Konfiguration der Luftquelle |
5 Gasquellen von Wasserstoff, Methan, Stickstoff, Argon und Sauerstoff, Mit einem zusätzlichen reservierten für Backup |
|
Gasflussregelung |
Der Volumenstrom wird durch MFC gesteuert, und ein Durchflussmesser mit einem geeigneten Bereich wird entsprechend der Größe des Kavitäten ausgewählt. Unterschiedliche Durchflussgrößen beeinflussen die Druckanstiegszeit. Im Allgemeinen ist die Durchflussrate von Wasserstoff: Methan: Stickstoff: Argon: Sauerstoff ist 40:1:1:40:1 |
|
|
Einstellung Lufteinlass |
Angemessene Einstellung des Lufteinlassansaugstutzen, um die Gleichmäßigkeit des Lufteinlassansaug |
|
|
Wasserkühlsystem |
Wasserkühler Strom |
Die Kühlleistung und der Kühlkopf des Wasserkühlers sollten der Wärmeerzeugung der Anlage und dem Kühlwasserfluss entsprechen. Die Temperatur sollte einstellbar sein, in der Regel auf ca. 20 Grad Celsius eingestellt |
|
Ventil |
Die Abscheidekammer, Kathode und Anode müssen gekühlt werden, und ein Wasserabscheider muss installiert werden, und manuelle Ventile sind am ein- und Auslass jedes Abzweiges am Wasserabscheider eingestellt. |
|
|
Betriebstemperatur |
Die Anode Arbeitstemperatur ist 600-1100ºC, die Kathode Arbeitstemperatur ist 700-1100ºC |
|
|
Leistung |
Betriebsspannung |
600~1200V, einstellbare Ausgangsspannung |
|
Betriebsstrom |
6~15A |
|
|
Steuerungssystem |
1) Gasflusssteuerung ; 2) Elektrode Hebevorrichtung, Echtzeit-Anzeige der Kathode und Anode Abstand, Kontrollgenauigkeit 1mm; 3) Überwachung und Anzeige der Kathode, Anode und Substrattemperatur; 4) einige Funktionen können manuell eingestellt werden, wie Luftdruck; 5) Fehleralarm zur Verhinderung von Fehlbedienung; |
|
|
Elektrode |
1) der Anodendurchmesser ist 60mm, und das Material ist Kupfer 2) der Durchmesser der Kathode ist 80~100mm, und das Material ist Molybdän. Nach langfristiger Verwendung ist Kohlenstoff leicht auf der Kathodenoberfläche ablagerbar und der Ausfluss ist instabil. Daher muss es als austauschbare Struktur konzipiert werden; 3) der Abstand zwischen Kathode und Anode ist einstellbar, der Bereich ist 10~60mm, der Abstand wird in Echtzeit angezeigt, und die Einstellgenauigkeit ist 1mm; 4) die Kanten der Kathode und Anode können gerundet werden, um Kantenentladung zu verhindern; 5) die Anode kann negativ voreingenommen sein, und der Spannungsbereich der Vorspannung ist 0~400V; 6) die Kante der Elektrode ist isoliert, um Kantenentladung zu verhindern; |
|
F. sind Sie ein Hersteller oder ein Handelsunternehmen?
A. Wir sind professionelle Laborgerätehersteller, haben ein eigenes Designteam und eine eigene Fabrik, verfügen über ausgereifte technische Erfahrung und können die Qualität der Produkte und den optimalen Preis garantieren.
Lieferanten mit verifizierten Geschäftslizenzen
Geprüfter Lieferant 
