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Geprüfter Lieferant Labor CVD Vakuumrohrofen für Isolatormaterial SiO2 Si3N4
Spezifikationen des CVD-Rohrofens
| Vakuumrohrofen | Modell | TN-PECVD50-1200-Q |
| Gesamtleistung | 3kW | |
| Rohrmaterial | Hochreiner Quarz | |
| Rohrdurchmesser | 60mm | |
| Rohrlänge | 1200mm | |
| Länge der Ofenkammer | 440mm | |
| Länge der Heizzone | 200mm+200mm | |
| Betriebstemperatur | 0~1150ºC | |
| Thermoelement | Typ K | |
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±1ºC | |
| Temperaturregelmodus | Temperaturregelung für 30-Segment-Programm | |
| Anzeigemodus | LED (digitale Röhrenanzeige hervorheben) | |
| Abdichtmethode | Vakuumflansch aus Edelstahl 304 | |
| Flanschschnittstelle | 1/4-Zoll-Schneidemuffe (Ø8 Pagodengelenk) | |
| Drehgeschwindigkeit | 0-13rpm | |
| Vakuum | 4,4×10E-3Pa | |
| Stromversorgung | AC:220V 50/60Hz | |
| Gassystem | Modell | TN-3F |
| Gaskanal | 3-Kanal | |
| Messeinheit | Massendurchflussmesser | |
| Messbereich | Ein Kanal: 0~200sccm H2 Gas | |
| B-Kanal: 0~200sccm N2 Gas | ||
| C-Kanal: 0~500sccm Ar Gas | ||
| Messgenauigkeit | ±1,5 % | |
| Rohrdruckfestigkeit | 3MPa | |
| Unterschied Arbeitsdruck | 0,1-0,5Mpa | |
| Verbindungsrohr | Edelstahl 304 | |
| Gaskanal | Nadelventil aus Edelstahl 304 | |
| Schnittstellenspezifikation | 1/4"-Schneidehülse für Gaseinlass und -Auslass | |
| Vakuumsystem | Mechanische Pumpe | Drehschieber-Vakuumpumpe |
| Förderleistung | 1,1L/S | |
| Abgasschnittstelle | KF16 | |
| Vakuummessung | Pirani-Spurweite | |
| Ultimatives Vakuum | 1×10E-1Pa | |
| Stromversorgung | AC:220V 50/60Hz | |
| Pumpschnittstelle | KF40 | |
| HF-Stromversorgung | Frequenz | 13,56MHz |
| Ausgabe | 0-500W | |
| Max. Reflektierte Leistung | 100W | |
| Verbindung | 50Ω, N-Typ, Buchse |
1. WIR haben CVD / PECVD Maschine mit Gas-Versorgungssystem + Vakuumsystem + Rohrofen + Plasma-Generator.
2. Rohrofen (Temperatur) :1200C, 1400C, 1600C, kundenspezifische Temperatur ist verfügbar.
3. Rohrofen (Heizzone): Einzelzone, Doppelzone, Dreifach-Zone, kundenspezifisch Anzahl der Heizzone ist vorhanden.
4. Rohr Material: Quarz, Korund, Legierung und anderes Material der Röhre ist anpassbar.
5. Rohr mit verschiedenen Durchmesser und Länge ist anpassbar.
6. Plasmagenerator: 100W, 150W, 300W, 500W, 1000W, Und andere Leistung des Plasma-Generators ist anpassbar.
7. Durchflussmesser: 1~3 oder Mehrkanal-Durchflussmesser ist optional basierend auf Ihrem Prozess.
Zhengzhou Tainuo Film Materials Co., Ltd ist ein umfassendes Unternehmen, das Design, Forschung und Entwicklung, Produktion und Vertrieb integriert.
Die Hauptprodukte unseres Unternehmens sind: Spinsenat, thermische Verdunstungsanlage , Magnetron Sputter Beschichter, Plasma Sputter Beschichter, E-Beam Verdunstungsanlage, PLD Pulse Laser Coating Maschine, Plasma-Reiniger, CVD-System, PECVD -System, Diamant-Draht-Schneidemaschine, Schmelzofen / Ofen, Lichtbogen Schmelzofen, etc.
Unsere Produkte sind weit verbreitet im Bereich der materialwissenschaftlichen Forschung. Wir arbeiten eng mit heimischen Universitäten, Laboren und neuen Materialunternehmen zusammen. Es wurde erfolgreich in mehr als 20 Länder und Regionen einschließlich der Vereinigten Staaten, das Vereinigte Königreich, Deutschland, Russland, Schweiz, Kanada, Brasilien usw. und haben langfristige Kooperationsbeziehungen mit lokalen Händlern aufgebaut.
Wenn Sie Materialforschung betreiben, kontaktieren Sie uns bitte und wir werden Ihnen maßgeschneiderte Dienstleistungen anbieten, um Ihre Forschungsexperimente reibungsloser zu gestalten!
Wir können die CVD, PECVD Maschine auf dem Seeweg, auf dem Luftweg, auf dem Landweg und mit dem Express versenden, auch können wir den Versand nach Ihren Anforderungen arrangieren.
F. sind Sie Hersteller oder Handelsunternehmen?
A. Wir sind professioneller Hersteller von Laborgeräten, Wir haben professionelle R & D-Team und Werkstatt, die die Qualität und After-Sales-Service versprechen kann.
F. wie ist Ihre Garantie?
A. Unsere Garantie beträgt 12 Monate und bietet lebenslange Wartung. Wir bieten 24 Stunden Online-Service.
F. wie lange ist Ihre Lieferzeit? Wie lange dauert es, wenn ich das Instrument anpassen möchte?
A. 5-10 Tage im Laden. Maßgeschneiderte Produkte----Es dauert in der Regel 30-60 Tage, je nach Ihren Anforderungen.
F. Stromversorgung und Stecker?
A. Wir können Produkte liefern, die auf Ihre lokale Spannung und Stecker Standard akrodieren.
F. wie zahlen?
A. T T, L / C, D / P USW.
F. wie ist das Paket von Waren? Liefermethoden?
A. Standard Export Begasung Zeichen Holzbox Verpackung oder als Ihre Anforderungen.
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Nehmen Sie Kontakt auf, und wir können zusammenarbeiten, um Ihnen die Antworten und Lösungen zu geben, die Sie benötigen.
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