Lieferanten mit verifizierten Geschäftslizenzen
Geprüfter Lieferant | Drei Ziel Magnetron Sputterbeschichtungsmaschine (DC-Netzteil + HF-Netzteil) | ||
| Probe Tabelle |
Sputtermodus | Sputterausrichtung nach oben, die Probenbühne befindet sich über dem Sputterziel; Probenhalter mit zentrieren oberen Einstellungen, mit einem Verschluss |
| Probenhalter | φ150mm | |
| Regelgenauigkeit | ±1ºC | |
| Heizbereich | Raumtemperatur ~500ºC | |
| Einstellbare Geschwindigkeit | 1-20rpm einstellbar | |
| Zielbasisabstand Einstellbar |
Der Abstand zwischen dem Ziel und dem Substrat kann sein Elektrisch eingestellt | |
| Magnetron Zielpistole |
Zielebene | Ziel der kreisförmigen Ebene |
| Sputtervakuum | 10PA~0,2Pa | |
| Zieldurchmesser | 50~50,8mm | |
| Zieldicke | 2~5mm Hinweis: Wenn das Ziel ist magnetisches Material (wie Fe, Co, Ni), die Dicke kann nicht mehr als 1,5mm sein, und starke magnetische Sputterpistole erforderlich ist, Muss extra berechnet werden. |
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| Isolationsspannung | >2000V | |
| Menge | 2 Zoll * 3; mit Rollläden für jede Waffe | |
| Kabelspezifikation | SL-16 | |
| Solltemperatur des Kopfes | <=65ºC | |
| Vakuum Kammer |
Innenwandbehandlung | Elektrolytisches Polieren |
| Kammergröße | φ300mm × 350mm | |
| Kammermaterial | Edelstahl 304 | |
| Beobachtungsfenster | Quarzfenster, Durchmesser φ100mm mit Verschluss | |
| Abdichtmethode | Viton-Dichtung | |
| Methode öffnen | Obere Öffnung, Hilfsstütze des Zylinders | |
| Gasregelsystem |
Flusssteuerung | 1-Wege-Massendurchflussmesser : Sauerstoff: Bereich 0~100SCCM oder Argongas: Bereich 0~200SCCM oder Stickstoff: Bereich 0~500SCCM (Hinweis: Um eine höhere sauerstofffreie Umgebung zu erreichen, wird das Vakuum verwendet Die Kammer muss mindestens 3 Mal mit hochreinem Inertgas gereinigt werden.) |
| Gasart | Argon, Stickstoff, Sauerstoff und andere inerte Gase | |
| Typ des Steuerventils | Magnetventil | |
| Statischer Zustand des Steuerventils | Normalerweise geschlossen | |
| Linearität messen | ±1,5 % F.S. | |
| Wiederholbarkeit der Messung | ±0,2 % F.S. | |
| Messen der Reaktionszeit | ≤8 Sekunden (T95) | |
| Betriebsdruckbereich | 0,3MPa | |
| Druck Ventilgehäuse | 3MPa | |
| Betriebstemperatur | (5~45)ºC | |
| Gehäusematerial | Edelstahl 316L | |
| Leckrate Ventilgehäuse | 1×10-8PA.m3/s | |
| Rohrverbindungen | 1/4″-Klemmverschraubung | |
| Eingangs- und Ausgangssignal | 0~5V | |
| Stromversorgung | ±15V (±5 %) (+15V 50mA, -15V 200mA) | |
| Gesamtabmessungen (mm) | 130 (Breite) × 102 (Höhe) × 28 (Dicke) | |
| Kommunikationsschnittstelle | RS485 MODBUS-Protokoll | |
| Gleichstromversorgung | Stromversorgung | 500W |
| Ausgangsspannung | 0~600V | |
| Maximaler Ausgangsstrom | 1A | |
| Zeitdauer | 65000 S | |
| Startzeit | 1~10 S | |
| Menge | 2 Sätze | |
| HF-Leistung Versorgung |
Stromversorgung | 500W |
| Leistungsbereich | 0W-500W, mit Auto-Match | |
| Maximale reflektierte Leistung | 100W | |
| HF-Frequenz | 13,56MHz+/-0,005% Stabilität | |
| Stabilität der Stromversorgung | ≤5W | |
| Harmonische Komponente | Weniger als -50dbc | |
| Menge | 1 Satz | |
F. sind Sie ein Hersteller oder ein Handelsunternehmen?
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