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Geprüfter Lieferant Single Target DC Magnetron Sputtering Coater Equipment ist eine kostengünstige Magnetron Sputtering Beschichtungsanlage, die von unserem Unternehmen unabhängig erforscht und entwickelt wurde. Es hat die Eigenschaften der Standardisierung, Modularisierung und Anpassung. Magnetron-Targets können zwischen 1 Zoll, 2 Zoll und 3 Zoll gewählt werden, und Kunden können je nach Größe des plattierten Substrats wählen; das Netzteil ist ein 1500W-Hochleistungs-DC-Netzteil, das für hochenergetische Metallsputterbeschichtung verwendet werden kann. Je nach experimentellen Anforderungen können auch DC- oder HF-Netzteile anderer Spezifikationen ausgewählt werden, um Beschichtungsvorgänge verschiedener Materialien zu erreichen.
Das Beschichtungsinstrument verfügt über zwei hochpräzise Massendurchflussmesser, und Kunden können den Gasweg von bis zu vier Massendurchflussmessern anpassen, wenn sie andere Anforderungen haben, um die Anforderungen komplexer Gasumgebungskonstruktionen zu erfüllen; Das Gerät ist standardmäßig mit einem fortschrittlichen Turbomolekularpumpensatz ausgestattet, und das ultimative Vakuum kann 1,0E-5Pa erreichen. Gleichzeitig sind auch andere Typen von Molekülpumpen zum Kauf erhältlich. Der Gasweg der Molekularpumpe wird durch mehrere Magnetventile gesteuert, die den Hohlraum öffnen können, um Proben zu entnehmen, ohne die Pumpe auszuschalten, was Ihre Arbeitseffizienz erheblich verbessert. Dieses Produkt kann mit einem integrierten industriellen Steuerrechner zur Steuerung des Systems ausgestattet werden. Das Computerprogramm kann die meisten Funktionen wie die Steuerung der Vakuumpumpumpengruppe und die Steuerung der Sputterspeisung realisieren, die die Effizienz Ihres Experiments weiter verbessern können.
Anwendungsbereich des Single Target Magnetron Sputtering Coaters:
Single Target DC Magnetron Sputtering Coater kann zur Vorbereitung einschichtiger ferroelektrischer Filme, leitfähiger Filme, Legierungsfolien usw. verwendet werden.im Vergleich zu ähnlichen Geräten ist dieses Single-Target Magnetron Sputtering Coating Instrument nicht nur weit verbreitet, sondern hat auch die Vorteile kleiner Größe und einfacher Bedienung. Es ist ein ideales Gerät für die Laborvorbereitung von dünnen Materialfilmen und eignet sich besonders für Laboruntersuchungen an festen Elektrolyten und OLED etc.
| Single Target DC Magnetron Sputtering Beschichtungsinstrument | ||
| Probenbühne | Abmessungen | φ185mm |
| Heizbereich | Raumtemperatur~500ºC | |
| Einstellbare Geschwindigkeit | 1-20rpm einstellbar | |
| Magnetisch Kontrolle Ziel Pistole |
Zielebene | Ziel der kreisförmigen Ebene |
| Sputtervakuum | 10PA~0,2Pa | |
| Zieldurchmesser | 50~50,8mm | |
| Zieldicke | 2~5mm | |
| Isolationsspannung | >2000V | |
| Kabelspezifikationen | SL-16 | |
| Solltemperatur des Kopfes | <=65ºC | |
| Echt Null Formnest Körper |
Innenwandbehandlung | Elektrolytisches Polieren |
| Formnest | φ300mm × 300mm | |
| Hohlraummaterial | Edelstahl 304 | |
| Beobachtungsfenster | Quarzfenster, Durchmesser φ100mm | |
| Methode öffnen | Obere Öffnung, Hilfsstütze des Zylinders | |
| Gas Körper Kontrolle System |
Flusssteuerung | Massendurchflussmesser, Bereich 0~200SCCM Argon-Gas |
| Typ des Steuerventils | Magnetventil | |
| Statischer Zustand des Steuerventils | Normalerweise geschlossen | |
| Linearität messen | ±1,5 % F.S. | |
| Wiederholbarkeit der Messung | ±0,2 % F.S. | |
| Messen der Reaktionszeit | ≤8 Sekunde (T95) | |
| Betriebsdruckbereich | 0,3MPa | |
| Druck Ventilgehäuse | 3MPa | |
| Betriebstemperatur | (5~45)ºC | |
| Gehäusematerial | Edelstahl 316L | |
| Leckrate Ventilgehäuse | 1×10-8PA.m3/s | |
| Rohrverbindungen | 1/4″-Klemmverschraubung | |
| Eingangs- und Ausgangssignal | 0~5V | |
| Stromversorgung | ±15V (±5 %) (+15V 50mA, -15V 200mA) | |
| Gesamtabmessungen mm | 130 (Breite) × 102 (Höhe) × 28 (Dicke) | |
| Kommunikationsschnittstelle | RS485 MODBUS-Protokoll | |
| Gleichstromversorgung | Leistung | 500W |
| Ausgangsspannung | 0~600V | |
| Zeitdauer | 65000 Sekunden | |
| Startzeit | 1~10 Sekunde | |
| Messung der Filmdicke | Stromversorgung | DC:5V (±10 %) Maximaler Strom 400mA |
| Auflösung | ±0,03Hz(5-6MHz),0.0136Å /Messung (Aluminium) | |
| Messgenauigkeit | ±0,5 % Dicke + 1 Digits | |
| Messzeitraum | 100ms~1S/Zeit (kann eingestellt werden) | |
| Messbereich | 500.000 Å (Aluminium) | |
| Kristallfrequenz | 6MHz | |
| Kommunikationsschnittstelle | Serielle RS-232/485-Schnittstelle | |
| Ziffern anzeigen | 8-stellige LED-Anzeige | |
| Molekularpumpe | Pumpgeschwindigkeit der Molekularpumpe | 80L/S |
| Nenndrehzahl | 65000rpm | |
| Vibrationswert | <=0,1um | |
| Startzeit | <=4,5min | |
| Ausfallzeiten | <7min | |
| Kühlmethode | Luftgekühlt | |
| Kühlwassertemperatur | <=37ºC | |
| Kühlwasserdurchsatz | 1L/min | |
| Einbaurichtung | Vertikal ±5 Grad | |
| Sauganschluss | 150CF | |
| Abluftanschluss | KF40 | |
| Vorpumpe | Förderleistung | 1,1L/S (VRD-4) |
| Ultimatives Vakuum | 5×10-2PA | |
| Stromversorgung | AC:220V/50Hz | |
| Leistung | 400W | |
| Rauschen | <=56dB | |
| Sauganschluss | KF40 | |
| Abluftanschluss | KF25 | |
| Freigabeventil | Pneumatisches und elektronisch gesteuertes Luftablassventil ist eingebaut Die Vakuumkammer | |
| Das ultimative Vakuum der gesamten Maschine | <=5×10-4PA | |
| Ladegeschwindigkeit der Vakuumkammer | <=2,5Pa/h | |
| Softwaresystem | 1 Satz Überwachungs- und Verwaltungssoftware | |
| Testziel | 2 Kupferziele mit einem Durchmesser von 2 Zoll und Eine Dicke von 3 mm | |
Hinweise:
1. Wir haben Magnetron Sputtermaschine mit 1 Ziel, 2 Ziele, 3 Ziele, Ziel kann an der Ober- oder Unterseite der Kammer entworfen werden.
2. DC-Leistung oder HF-Leistung Ziel ist verfügbar
3. Anderes Zielmaterial ist optional
4. Starkes magnetisches Ziel und Permanentes magnetisches Ziel ist optional
5. Magnetron Sputtermaschine mit Verdunstungsquelle ist verfügbar
6. Kundenspezifischer Service ist immer verfügbar!
F. sind Sie ein Hersteller oder ein Handelsunternehmen?
A. Wir sind professionelle Laborgerätehersteller, mit unserem eigenen Design-Team und Fabrik mit ausgereifter technischer Erfahrung, und kann die Qualität der Produkte und den optimalen Preis garantieren.
F. wie ist das Produkt-After-Sales-Service-System Ihres Unternehmens?
A. die Produktgarantie beträgt 12 Monate, wir können lebenslange Wartung bieten. Wir haben professionelle Pre-Sales- und After-Sales-Abteilungen, die innerhalb von 24 Stunden auf Sie antworten können, um technische Probleme zu lösen.
F. wie lange ist Ihre Lieferzeit? Wie lange dauert es, wenn ich das Instrument anpassen möchte?
A,1. Wenn die Ware auf Lager ist, ist es 5-10 Tage. 2. Wir können maßgeschneiderte Dienstleistungen für unsere Kunden bieten. Je nach den Spezifikationen des kundenspezifischen Instruments dauert es normalerweise 30-60 Tage.
Q. Stromversorgung und Stecker unseres Landes sind unterschiedlich. Wie lösen Sie es?
A. Wir können einen Transformator und Stecker nach Ihren lokalen Anforderungen nach dem Netzstecker der verschiedenen Länder liefern.
F. wie zahlen?
A.T / T, L / C, D / P, etc., wird empfohlen, in China Handelsgarantie gemacht zu verwenden.
F. wie ist das Paket von Waren? Liefermethoden?
A,1. Standard Export Begasung Zeichen Holzkiste Verpackung 2. Express, Luft, Seefahrt nach Kundenwunsch, finden Sie den am besten geeigneten Weg.
Weitere Fragen, kontaktieren Sie uns bitte.
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