After-sales Service: | on-Line Service |
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Warranty: | One Year |
Application: | School, Lab |
Customized: | Customized |
Certification: | CE |
Structure: | Desktop |
Lieferanten mit verifizierten Geschäftslizenzen
Labor MPCVD Maschine CVD Diamant wachsende Maschine Vakuum MPCVD System
Der Trend bei im Labor gewachsenen Diamanten (LGD) ist die Verwendung von MPCVD (Mikrowellen-Plasma-CVD)-Geräten, die Diamanten künstlich anbaut, indem sie Kohlenstoff (C) auf einem Substrat volumisieren. Es soll derzeit 20-Karat-Diamanten produzieren können. Wenn CH4 und H2 von Mikrowellen gemischt und angeregt werden, tritt in einem Vakuumbehälter eine Glühaustritt auf. Moleküle der Reaktanten-Gase werden ionisiert und ein Plasma wird erzeugt.
In seinem CVD-Prozess werden die hochwertige Gasflussregelungstechnologie von TN, das Drucküberwachungsprodukt und die Druckregellösung verwendet. TN -Lösungen sorgen für gleichbleibend hochwertiges Diamantwachstum.
Spezifikationen des MPCVD-Systems
Mikrowellenanlage |
Mikrowellenfrequenz |
2450±25MHz |
Ausgangsleistung |
0,6kw~6kw stufenlos einstellbar |
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Mikrowellen-Tuning |
3-Stub-Tuner Mode-Konvertierungsantenne |
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Reflexionsschutz für Mikrowellen |
Kreisförmig, Wasserlast |
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Betriebsart Mikrowelle |
TM013 |
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Mikrowelle undicht |
≤ 2 mw/cm2 |
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Vakuumsystem |
Betriebsdruckbereich |
10~250Torr |
Automatische Druckregelung |
40~250Torr |
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Vakuumpumpe |
4,4L/s Drehschieber-Vakuumpumpe |
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Vakuumintegrität |
< 1,0x10-9 Pa * m3 /sec (durch Helium-Leckdetektor) |
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Druckhaltekapazität |
Der Druckanstieg beträgt weniger als 0,2 Torr alle 24 Stunden |
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Ultimatives Vakuum |
0,1Pa (7,5 x10-4 Torr) |
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Vakuummessung |
Markenfilmanzeige |
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Vakuumreaktor |
Reaktormaterialien und -Strukturen |
Zweilagiger wassergekühlter Edelstahl |
Vakuumdichtung |
Metalldichtung + Fluororubber-Ring-Dichtung (Ladetür) |
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Reaktor-ID |
φ140mm |
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Fenster „Beispieltabelle“ |
105 x 50 mm rechteckiger Anschluss, Vordertür mit Fluorring abgedichtet |
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Fenster „Watch“ |
Zwei Ports, CF35 große Bohrung, 180-Grad-Verteilung |
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Fenster Temperaturmessung |
Der horizontale Winkel der beiden Fenster beträgt 25~30 Grad, 180-Grad-Verteilung; Das Fenster eignet sich zur Erfassung der Temperatur des Probenbühne aus dem schrägen Winkel des oberen Teils Des Reaktors nach unten |
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Probenbühne |
Elektrischer Lift wassergekühlte Substrat Plattform Φ100mm, einstellbarer Höhenbereich 0~70mm |
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Wenn der Durchmesser von Molybdän Substrat ≥50mm ist, kann der Plasma-Feuerball die gesamte Substratstufe bei 5000W und 180torr abdecken |
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Substrattemperatur 250~1400ºC Abhängig von den Prozessparametern |
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Gaskanal |
Durchflussmesser und Durchflussregelventil aus Japan importiert |
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Vom System bereitgestellte 4-Kanal-MFC |
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4MFC Maximaler Durchfluss: H2: 1000sccm,CH4:100sccm,O2:20sccm,N2:2sccm |
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Temperaturmesssystem |
Raytek Infrarot-Temperaturmesssystem, Temperaturbereich: 300 ~ 1300 ºC |
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Systemsoftware |
15" Touchscreen mit SPS-Steuerung, benutzerfreundliche Bedienoberfläche |
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Das System unterstützt zwei Benutzerebenen: Techniker und Bediener und bietet eine Funktion zur Verwaltung von Benutzerautoritäten |
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Das System ist mit automatischem Schutz wie Wassermangel, Luftmangel, Stromversorgung Phasenausfall, Feuerball Sprung, Übertemperatur Überlastung, Zündung und so weiter ausgestattet |
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Es können bis zu 10 Sätze von Prozessrezepten eingestellt werden, jeder Satz enthält 40 Datenzeilen, der Produktionsprozess wird automatisch von den Prozessrezepten gesteuert, und die Prozessdaten können gesichert und über U-Disk exportiert werden |
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Das System verfügt über eine vollautomatische Luftabsaugung, Zündung, Heizung, Kühlung und andere voreingestellte Prozesse, die für den Benutzer einfach zu bedienen sind |
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Vollautomatische Temperaturregelung und Luftdruckregelung stark reduzieren Die Arbeitslast der Systembetreiber |
WIR können das MPCVD-System auf dem Seeweg, auf dem Luftweg, auf dem Landweg versenden, können auch den Versand nach Ihren Anforderungen arrangieren.
F. sind Sie Hersteller oder Handelsunternehmen?
A. Wir sind professioneller Hersteller von Laborgeräten, Wir haben professionelle R & D-Team und Werkstatt, die die Qualität und After-Sales-Service versprechen kann.
F. wie ist Ihre Garantie?
A. Unsere Garantie beträgt 12 Monate und bietet lebenslange Wartung. Wir bieten 24 Stunden Online-Service.
F. wie lange ist Ihre Lieferzeit? Wie lange dauert es, wenn ich das Instrument anpassen möchte?
A. 5-10 Tage im Laden. Maßgeschneiderte Produkte----Es dauert in der Regel 30-60 Tage, je nach Ihren Anforderungen.
F. Stromversorgung und Stecker?
A. Wir können Produkte liefern, die auf Ihre lokale Spannung und Stecker Standard akrodieren.
F. wie zahlen?
A. T T, L / C, D / P USW.
F. wie ist das Paket von Waren? Liefermethoden?
A. Standard Export Begasung Zeichen Holzbox Verpackung oder als Ihre Anforderungen.
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