Kundendienst: | 12 Monate |
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Garantie: | 12 Monate |
Art: | Coating Sputtering |
Bescheinigung: | CE |
Probengröße: | Φ100mm |
Heiztemperatur: | max. 500ºC |
Lieferanten mit verifizierten Geschäftslizenzen
1. Diese Art von kleinen Plasma Sputterbeschichtungsmaschine nimmt einstufige Sputtermethode an, die für SEM weit verbreitet ist
Probenvorbereitung oder Metallbeschichtung Experiment.
2. Mit Niedertemperatur-Plasma Sputterprozess, gibt es keine hohe Temperatur während des Beschichtungsprozesses, thermische Schäden ist
Kaum möglich.
3. Dieser kleine Plasma Sputterbeschichter benutzt PLC + Touchscreen Steuersystem, einfach zu bedienen. Ein drehbarer Probenstadium ist
Ausgestattet.
4. Es kommt mit kleiner Größe, geeignet für Laborforschungsprozess.
Probenbühne | Größe | 100mm |
Abstand zwischen Probenbühne und Zieloberfläche | 20~35mm höhenverstellbar | |
Drehgeschwindigkeit | 1~20rpm einstellbar | |
Heiztemperatur | / | |
Genauigkeit der Temperaturregelung/ | / | |
Plasmasputterquelle | Menge | 2 Zoll * 3 |
Kühlmethode | Natürliche Kühlung | |
Vakuumkammer | Kammergröße | φ180mm x 200mm |
Beobachtungsfenster | Omnidirektionale Sichtbarkeit | |
Kammermaterial | Hochreiner Quarz | |
Methode öffnen | Obere Abdeckung abnehmbar | |
Material der oberen und unteren Abdeckung | Edelstahl 304 | |
Pumpenanschluss | KF16 | |
Einlassöffnung | 1/4-Zoll-Aderendhülse | |
Stromversorgung | Menge | Gleichstromversorgung supplyx1 |
Ausgangsleistung | Max. 150W | |
Sputterleistung | 1200V | |
Max. Sputterstrom | 50mA | |
Vakuumsystem | Typ der Vakuumpumpe | Zweistufige Drehschieber-Vakuumpumpe |
Pumpenanschluss | KF16 | |
Abgasschnittstelle | KF16 | |
Förderleistung | 1,1l/s (4 m3/h) | |
Ultimatives Vakuum | ≥0,1Pa | |
Vakuummessung | Widerstandsmanometer | |
Andere | Stromversorgung | AC 220V 50Hz |
Gesamtleistung | 1,5kW/2kW | |
Abmessungen | 570mm x 450mm x500mm | |
Gewicht | 30kg |
Hinweise:
1. Wir haben Plasma Sputter Coater mit 1/2/3 Ziel,
2. Wassergekühltes Ziel, Drehsubstrat ist optional
3. Heizsubstrat ist verfügbar
F. sind Sie ein Hersteller oder ein Handelsunternehmen?
A. Wir sind professionelle Laborgerätehersteller, mit unserem eigenen Design-Team und Fabrik, mit ausgereifter technischer Erfahrung, und kann die Qualität der Produkte und den optimalen Preis garantieren.Lieferanten mit verifizierten Geschäftslizenzen