Laborquarzrohr PECVD Ofen mit Widerstandsdraht und Vakuum System

• After-sales Service: on-Line Service
• Warranty: One Year
• Anwendung: Industrie, Schule, Labor
• Customized: Customized
• Zertifizierung: CE
• Struktur: tragbar
• Modell Nr.: TN-1200X-III-50IC
• Stoff: Rostfreier Stahl
• Art: Rohrofen
• Produktname: CVD Tuber Furnace
• Rohrmaterial: Hochreiner Quarz
• Temperatur: 1200C
• Heizzone: 200mm*2
• Größe des Ofenrohrs: 50*450mm
• Temperaturgenauigkeit: 1C
• Transportpaket: Fumigated Wooden Box
• Warenzeichen: TN
• Herkunft: China
• HS-Code: 8401200000
• Produktionskapazität: 20 Sets Per Month

Produktbeschreibung

Produktbeschreibung

 Laborquarzrohr PECVD Ofen mit Widerstandsdraht und Vakuum System

1. Dieses CVD-System ist speziell für die Graphenproduktion entwickelt, mit einem 1200ºC Mini-Rohrofen, ausgestattet mit einem hoch-
   Präzisions-Massendurchflussmesser und ein Dünnschicht-Vakuummessgerät.

2. Im Vergleich zum herkömmlichen Pirani-Widerstandsmessgerät ist der Messwert des Dünnschichtmessers genau und wird nicht vom beeinflusst
   Art des Gases, das sich sehr gut für den Vakuumbeschichtungsprozess eignet.

3. Der CVD-Rohrofen ist mit einer Brandgasdetektion ausgestattet, die mit einem Magnetventil an der Luft verbunden ist
   Auslass. Sobald eine Leckage vorhanden ist, kann das Magnetventil geschlossen werden, um die Sicherheit zu gewährleisten.

4. Der CVD-Rohrofen kommt mit Standfläche und ist sehr geeignet für die Laborvorbereitung von CVD.

Produktparameter

Spezifikationen von PECVD

HF -Stromversorgung	Signalfrequenz	13,56MHz±0,005 %
	Leistungsbereich	0~300W
	Maximale reflektierte Leistung	100W
	Reflektierte Leistung (bei maximaler Leistung)	<3W
	Stabilität der Stromversorgung	±0,1 %
Rohrofen	Rohrmaterial	Hochreiner Quarz
	Außendurchmesser des Rohrs	100mm
	Rohrlänge	1200mm
	Länge der Ofenkammer	440mm
	Länge der Heizzone	200mm+200mm (zwei Temperaturzonen)
	Konstante Länge der Temperaturzone	200mm
	Dauerarbeitstemperatur	Max.1100ºC
	Genauigkeit der Temperaturregelung	±1ºC
	Temperaturregelmodus	Temperaturregelung für 30-Segment-Programm
	Anzeigemodus	LCD
	Abdichtmethode	Vakuumflansch aus Edelstahl 304
Gasversorgung System	Modell	CY-6Z
	Kanalnummern	6
	Messeinheit	Massenflussregler
	Messbereich	Ein Kanal: 0~200SCCM für H2	Anmerkungen: Wenn andere Bereiche erforderlich sind, bitte bei der Bestellung angeben. Je nach den spezifischen Anforderungen des Kunden ist der Durchflussmesser des entsprechenden Gastyps und -Bereichs optional.
		B -Kanal: 0~200SCCM für CH4
		C -Kanal: 0~200SCCM für C2H4
		C -Kanal: 0~500SCCM für N2
		D -Kanal: 0~500SCCM für NH3
		E -Kanal: 0~500SCCM für Ar
	Messgenauigkeit	±1,5 % F.S.
	Unterschied Arbeitsdruck	-0,15Mpa~0,15Mpa
	Verbindungsrohr	Edelstahl 304
	Gaskanal	Nadelventil aus Edelstahl 304
	Schnittstellenspezifikation	1/4" Aderendhülse für Gaseinlass und -Auslass
Vakuumsystem	Mechanische Pumpe	Zweistufige Drehschieberpumpe
	Förderleistung	1,1L/S
	Vakuummessung	Widerstandsmessgerät
	Ultimatives Vakuum	1,0E-1Pa
	Pumpschnittstelle	KF16
Gleitschiene		Kann das Schieben von zwei Temperaturzonen Ofen zu erreichen, um schnelle Temperaturanstieg und -Fall zu realisieren.
Stromversorgung		AC220V 50Hz

 

 

Detaillierte Fotos

1. WIR haben CVD / PECVD Maschine mit Gas-Versorgungssystem + Vakuumsystem + Rohrofen + Plasma-Generator.

2. Rohrofen (Temperatur) :1200C, 1400C, 1600C, kundenspezifische Temperatur ist verfügbar.

3. Rohrofen (Heizzone): Einzelzone, Doppelzone, Dreifach-Zone, kundenspezifisch Anzahl der Heizzone ist vorhanden.

4. Rohr Material: Quarz, Korund, Legierung und anderes Material der Röhre ist anpassbar.

5. Rohr mit verschiedenen Durchmesser und Länge ist anpassbar.

6. Plasmagenerator: 100W, 150W, 300W, 500W, 1000W, Und andere Leistung des Plasma-Generators ist anpassbar.

7. Durchflussmesser: 1~3 oder Mehrkanal-Durchflussmesser ist optional basierend auf Ihrem Prozess.

CVD/PECVD-- Rohrofen mit 1200C Dreifach -Heizzone  

PECVD-- Rolle- zu Rolle

PECVD-- Drehtyp

Unternehmensprofil

Verpackung Und Versand

Wir können die CVD, PECVD Maschine auf dem Seeweg, auf dem Luftweg, auf dem Landweg und mit dem Express versenden, auch können wir den Versand nach Ihren Anforderungen arrangieren.

FAQ

F. sind Sie Hersteller oder Handelsunternehmen?
A. Wir sind professioneller Hersteller von Laborgeräten, Wir haben professionelle R & D-Team und Werkstatt, die die Qualität und After-Sales-Service versprechen kann.  

F. wie ist Ihre Garantie?
A.  Unsere Garantie beträgt 12 Monate und bietet lebenslange Wartung. Wir bieten 24 Stunden Online-Service.

F. wie lange ist Ihre Lieferzeit? Wie lange dauert es, wenn ich das Instrument anpassen möchte?
A. 5-10 Tage im Laden. Maßgeschneiderte Produkte----Es dauert in der Regel 30-60 Tage, je nach Ihren Anforderungen.

F. Stromversorgung und Stecker?
A. Wir können Produkte liefern, die auf Ihre lokale Spannung und Stecker Standard akrodieren.

F. wie zahlen?
A.  T T, L / C, D / P USW.

F. wie ist das Paket von Waren? Liefermethoden?
A.  Standard Export Begasung Zeichen Holzbox Verpackung oder als Ihre Anforderungen.

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