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Geprüfter Lieferant Großes Einzelpistole Elektronenstrahl-Verdampfungssystem für Abscheidung Dielektrischer Film
Elektronenstrahl (e-Strahl) Verdunstung - Übersicht
Während eines E-Strahl-Verdampfungsprozesses wird der Strom zuerst durch ein Wolframfilament geleitet, das zu Joule-Erwärmung und Elektronenemission führt. Zwischen dem Filament und dem Herd wird Hochspannung angelegt, um diese freigesetzten Elektronen in Richtung des Tiegels zu beschleunigen, der das zu ablaßende Material enthält. Ein starkes Magnetfeld konzentriert die Elektronen in einen einheitlichen Strahl; bei der Ankunft wird die Energie dieses Elektronenstrahls auf das Ablagerungsmaterial übertragen, wodurch es verdampft (oder sublimiert) und sich auf dem Substrat ablastet. Durch Zugabe eines Partialdrucks von reaktivem Gas, wie Sauerstoff oder Stickstoff, kann die Kammer während der Verdunstung reaktiv nichtmetallische Filme ablagern.
Die Elektronenstrahlverdampfung hat gegenüber der resistiven thermischen Verdampfung viele Vorteile. Erstens ist die E-Strahlquelle in der Lage, Materialien auf viel höhere Temperaturen zu erwärmen, als es mit einem ohmschen Boot oder Tiegelheizung möglich ist. Dies ermöglicht sehr hohe Abscheidungsraten und Verdunstung von Hochtemperaturmaterialien und feuerfesten Metallen wie Wolfram, Tantal oder Graphit. Zweitens können durch Elektronenstrahlverdampfung abgeschiedene Filme die Reinheit des Quellmaterials besser erhalten; die Wasserkühlung des Tiegels beschränkt die Elektronenstrahlerwärmung auf den vom Quellmaterial belegten Bereich und eliminiert unerwünschte Verunreinigungen durch benachbarte Komponenten. Schließlich sind Elektronenstrahlverdampfungsquellen in einer Vielzahl von Größen und Konfigurationen erhältlich, einschließlich einzelner oder mehrerer Taschen. Die Taschentaschenindizierung mit einem motorisierten Karussell ermöglicht es einer Quelle, viele Materialien von einer einzigen Quelle abzulegen.Spezifikationen des Elektronenstrahl-Beschichtungssystems:
| Produktname | Elektronenstrahl-Verdampfungsbeschichtungsmaschine |
| Produktmodell | TN-EBH500-SS |
| Servicezustand | Die Umgebungstemperatur lag zwischen 5 und 40ºC |
| Quelle | Drei Phasen 380V |
| Spannung | 220V 50HZ |
| Leistung | <20 kW |
| Wasserstand | <2,5bar |
| Schichtüberwachung mit Beschichtung | Mit dem SQM160 Membrandickenmonitor beträgt die Inhomogenität der Schichtdicke weniger als 6 %. |
| Heizlampe | Vier Halogenheizlampen wurden zur Entgasung und eine verwendet Neonlampe für Beleuchtung |
| Die Elektrodenschnittstelle | Mit einer 2-poligen Schnittstelle für Metallverdampfungselektroden, Backup |
| Wasserkühlsystem | Überwachung des Wasserdrucks |
| Beobachtungsfenster | 100mm im Durchmesser, mit Röntgenfilterglas |
| Steuerungssystem | Touchscreen-System |
| Abmessungen der Vakuumkammer | Abmessungen der Verdampfungskammer: φ 500 * H500mm |
| Elektronenpistole | Neue elektronische Pistole, ein 6-Loch-Tiegel |
| Probendrehtisch | Probengröße: <150mm, der Probentabelle kann sich drehen, die Probentischoberfläche und die Elektronenpistole-Oberflächenabstandseinstellung nach oben und unten, der Einstellabstand beträgt 200mm-250mm, der Probentabelle kann erhitzt werden, Heiztemperatur <500ºC. |
| Vakuumgrad des Systems | A. Unterdruck begrenzen: Backen für 12~24 Stunden, kontinuierliches Pumpen, Vakuum weniger als 5x10-5Pa B. Absaugleistung: Ein Vakuum <5x10 in 40 Minuten, beginnend mit der Atmosphäre-4PA C. Leckrate des Systems: Nach 12 Stunden Abschalten, messen Sie den Vakuumgrad der Vakuumkammer <10PA |
| Die Vakuumeinheit | FB1200 Molekulare Pumpe + VRD-16 vordere Bühnenpumpe + Seite Absaugventil + Absperrventil + Verbundwerkstoff Vakuummessgerät + Beschichtungsüberwachung Vakuummessgerät Schnittstelle (Standby) |
1. Wir haben thermische Verdunstung Beschichter mit 1/2/3/4/8... Verdunstungsquellen, kann Verdampfung Metall und organisches Material
2. Kammermaterial: Hochreiner Quarz--- niedriges Vakuum, SS304 Kammer-- hohes Vakuum
3. Film Dickenmonitor ist optional
4. Thermische Verdampfung, E-Strahl, Magnetron Sputtern in einer Maschine ist verfügbar
5. Verschiedene Materialien der Verdampfungsquelle ist verfügbar
6. Passen Sie thermische Verdunstung Coater nach Ihrem Prozess zur Verfügung steht
Zhengzhou Tainuo Film Materials Co., Ltd ist ein umfassendes Unternehmen, das Design, Forschung und Entwicklung, Produktion und Vertrieb integriert.
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