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Geprüfter Lieferant Organische und Metall Verdampfungsquelle thermische Verdampfung Beschichtungsmaschine
ÜBERSICHT --THERMISCHE VERDAMPFUNG
Die thermische Verdunstung ist aufgrund ihrer Einfachheit eine beliebte physikalische Gasphasenabscheidung. Während dieses Prozesses wird ein Material in einer Hochvakuumumgebung durch Joule-Erwärmung des resistiven Bootes, in dem es sich befindet, bis zu seinem Verdampfungspunkt erhitzt. Die verdampften Moleküle reisen dann von der Quelle zum Substrat, wo sie sich zusammen bilden und eine dünne Schicht bilden. Mit dieser Technik können verschiedenste Materialien wie Aluminium, Silber, Nickel, Chrom, Magnesium, Und viele andere.
Spezifikationen der thermischen Verdampfungsbeschichtungsanlage:
| 1.Vakuumkammer | ||
| Aussehen | 1 Satz von hochwertigen 304 Edelstahl D-förmige Vakuumkammer, die interne Größe der Vakuumkammer ist D400 * 480mm, die Vorder-und Rückseite Doppeltüren, und die hintere Tür nimmt eine aufklappbare quadratische Tür, die bequem für die Reinigung der Vakuumkammer, interne Debugging, Wartung und Pick-and-Place-Proben ist; Die vordere Tür nimmt horizontale Pull-quadratische Tür an, und jede vordere und hintere Tür ist mit 1 Satz von DN100 Fenstern ausgestattet; |
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| Unten | 2 Sätze von Metallquellenschnittstellen, 4 Sätze von organischen Quellschnittstellen, 1 Satz von molekularen Pumpenschnittstellen, 2 Sätze von Beleuchtungsschnittstellen und 3 Sätze von Schallkopfschnittstellen für die Filmdicke; | |
| Oben | 1 Satz Probenbühne Schnittstelle, 1 Satz elektrische Leitblech Schnittstelle, 1 Satz Hochvakuum pneumatische Leitblech Ventil Schnittstelle; | |
| Linke Seite | 1 Satz pneumatische Klappenventil-Schnittstelle für Hochvakuum. | |
| 2.Metall/Organisches Quellsystem | ||
| Metallquelle | Menge: 2 Sets 2 Sätze von wassergekühlten Kupferelektroden, kompatibel mit Verdampfungsbooten (Wolfram, Molybdän und Tantal Boote) und Spiraldrähten, ausgestattet mit pneumatischen Leitblechen, 1 Satz von 1kW DC Konstantstrom-Stromversorgung (digitale Anzeige), Stromjustiergenauigkeit 1A (Feinjustierung), die Leistung trifft gemeinsame Verdunstung von Metallen und Metalloxiden; |
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| Organische Quelle | Menge: 4 Sets 4cc Quarzboot, 2 Temperaturregelnetzteile (Temperaturregelanzeige Genauigkeit 0,1~C), Temperaturbereich: RT 500 ±C (Temperaturregelgenauigkeit 1 C), mit pneumatischer Leitblech; |
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| Schallwand | Die Verdampfungsquelle ist unabhängig voneinander, und die Schallwand wird getrennt, um Kreuzkontamination zu vermeiden | |
| 3.Probenbühnensystem | ||
| Substratrotation | Die Drehzahl ist stufenlos einstellbar von 0 ~ 30 U/min; | |
| Anheben des Substrats | Elektrische Hebe, der Abstand zwischen dem Substrat und der Verdunstungsquelle ist 200~300mm stufenlos über den Touchscreen einstellbar; | |
| Probenhalter | 20 * 20mm Substrat 8 Stück | |
| Substratverschluss | Elektrische Blende | |
| 4.Vakuumsystem | ||
| Vakuumpumpe eingestellt | 1) 1 Satz von 600L/s Molekularpumpe; 2) 1 Satz von 8L/s Drehschieberpumpe 3) 1 Satz von CF150 Hochvakuum pneumatischen Schieber; 4) 1 Satz von CF40 Hochvakuum pneumatischen Flapper Ventil; 5) 2 Sätze von KF16 Hochvakuum pneumatischen Flapper Ventile; 6) 1 Satz von KF40 Hochvakuum pneumatischen Flapper Ventil; 7) 1 Satz von KF40 Vakuum-Magnetventil; 8) 2 Sätze von KF40 Pumpenventil Verbindungsschläuche, 1 Satz von KF40 T; 9) 1 Satz digitaler Vakuummesser (Messbereich: 1×105~1×10-5Pa) |
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| 5.Film Dicke Monitor-System | ||
| Foliendickenmessgerät | 1 Set von drei-Kanal-Quarzkristall-Film-Dickenmonitor | |
| Filmstärkensonde | 3 Sätze mit CF35 wassergekühlten Dickenmessern für Folien | |
| 6.Geräteregal | ||
| 1) 1 Satz von 40 Kohlenstoffstahl Vierkantrohr Schweißrahmen; 2) 4 Stück Universalräder, bewegen und einstellen; 3) 4 Stück von M16 Fuß, verriegelt und positioniert. |
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| 7.Electronic Control System | ||
| Stromversorgung der Metallquelle | 1 Satz | |
| Stromversorgung von organischen Quellen | 2 Sätze (eins für zwei) | |
| Verdampfungsquelle, Leitblech, Stromversorgung | 1 Satz | |
| Drei-Kanal-Quarzkristall-Schichtdicken-Monitor | 1 Satz | |
| Beispieltisch und das Netzteil des Leitblechs | 1 Satz | |
| Stromversorgung für Backbeleuchtung | 1 Satz | |
| SPS-Steuerung | 1 Set, ausgestattet mit Touchscreen | |
| Stromversorgung für die gesamte Steuerung | 1 Satz | |
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| Kammergröße | L1200* W750* H900mm | |
| Handschuhe | 1 Paar | |
| Großer Vorraum | Innendurchmesser 360mm, Länge 600mm | |
| Kleiner Vorraum | Innendurchmesser 150mm, Länge 300mm | |
| 9.Weitere Parameter | ||
| 1) Phasenverlustschutz, Fehlbetriebschutz, Verbindungsverriegelung und ein-Schlüssel-Vakuum-Start und Stopp-Funktionen; 2) Stromversorgung: ~220V zweiphasige Stromversorgung (Peak 3KW); 3) Wasserversorgung: Kleine Kältemaschine, Kühlwassertemperatur 5ºC~35ºC, Temperatur der Arbeitsumgebung: 10ºC~40ºC; 4) Luftversorgung: Kleine ölfreie leise Luftpumpe, die 0,2-0,3MPa Luftdruck zur Antrieb pneumatischer Ventile bereitstellt; 5) Ultimate Vakuum: 6×10-5Pa, die Zeit von der Atmosphäre bis 6×10-4PA ist weniger als 35 Minuten (füllen Sie mit trockenem Stickstoff), Herunterfahren für 12 Stunden Vakuumgrad≤10PA. |
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1. Wir haben thermische Verdunstung Beschichter mit 1/2/3/4/8... Verdunstungsquellen, kann Verdampfung Metall und organisches Material
2. Kammermaterial: Hochreiner Quarz--- niedriges Vakuum, SS304 Kammer-- hohes Vakuum
3. Film Dickenmonitor ist optional
4. Thermische Verdampfung, E-Strahl, Magnetron Sputtern in einer Maschine ist verfügbar
5. Verschiedene Materialien der Verdampfungsquelle ist verfügbar
6. Passen Sie thermische Verdunstung Coater nach Ihrem Prozess zur Verfügung steht
Zhengzhou Tainuo Film Materials Co., Ltd ist ein umfassendes Unternehmen, das Design, Forschung und Entwicklung, Produktion und Vertrieb integriert.
Die Hauptprodukte unseres Unternehmens sind: Spinsenat, thermische Verdunstungsanlage , Magnetron Sputter Beschichter, Plasma Sputter Beschichter, E-Beam Verdunstungsanlage, PLD Pulse Laser Coating Maschine, Plasma-Reiniger, CVD-System, PECVD -System, Diamant-Draht-Schneidemaschine, Schmelzofen / Ofen, Lichtbogen Schmelzofen, etc.
Unsere Produkte sind weit verbreitet im Bereich der materialwissenschaftlichen Forschung. Wir arbeiten eng mit heimischen Universitäten, Laboren und neuen Materialunternehmen zusammen. Es wurde erfolgreich in mehr als 20 Länder und Regionen einschließlich der Vereinigten Staaten, das Vereinigte Königreich, Deutschland, Russland, Schweiz, Kanada, Brasilien usw. und haben langfristige Kooperationsbeziehungen mit lokalen Händlern aufgebaut.
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Wir können die thermische Verdunstungsanlage auf dem Seeweg, auf dem Luftweg, auf dem Landweg, b Express versenden, können auch den Versand nach Ihren Anforderungen arrangieren.
F. sind Sie Hersteller oder Handelsunternehmen?
A. Wir sind professioneller Hersteller von Laborgeräten, Wir haben professionelle R & D-Team und Werkstatt, die die Qualität und After-Sales-Service versprechen kann.
F. wie ist Ihre Garantie?
A. Unsere Garantie beträgt 12 Monate und bietet lebenslange Wartung. Wir bieten 24 Stunden Online-Service.
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A. 5-10 Tage im Laden. Maßgeschneiderte Produkte----Es dauert in der Regel 30-60 Tage, je nach Ihren Anforderungen.
F. Stromversorgung und Stecker?
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