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PE-Hpcvd Drehofen mit in-situ Verdampfer, 4 Kanal MFC und Vakuumpumpe

After-sales Service: 12 Months
Warranty: 12 Months
Application: School, Lab
Customized: Customized
Certification: CE
Structure: Desktop

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Lieferanten mit verifizierten Geschäftslizenzen

Henan, China
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Überblick

Grundlegende Informationen.

Modell Nr.
CVD coater
Material
Stainless Steel
Type
Tubular Furnace
Gasversorgungssystem
Gasdurchflussmesser
Molekularpumpe
600L/s
Rohrlänge
1000mm
Länge der Heizzone
300mm
Vakuumrohrofen
Vacuum High-Purity Aluminum Tube
Messgenauigkeit
+-0,2%
Drehschieberpumpe
1,1l/s
Ultimatives Vakuum
1,0E-5pa
Betriebstemperatur
0-1450c
Rohrdurchmesser
60mm
Transportpaket
Standard Export Fumigation Sign Wooden Box Package
Warenzeichen
TN
Herkunft
Henan China
HS-Code
8486209000
Produktionskapazität
220/Month

Produktbeschreibung

PE-Hpcvd Drehofen mit in-situ Verdampfer, 4 Kanal MFC und Vakuumpumpe

 

 
Produktbeschreibung

1200C PE-HPCVD Drehrohrofen mit in-situ Verdampfer, 4 Kanal MFC und Vakuumpumpe - ist ein 1200ºC drehbares zwei-Zonen Plasma-Enhanced Hybrid-Physikalisch-Chemische Dampfabscheidung (PE-HPCVD) System. Es besteht aus einem Gestellrahmen, 300W RF Plasma Generator & Matching Network, up-Stream Source Evaporation Boat mit Stromversorgung, vier-Kanal MFC Gas Delivery und Hochleistungs-Vakuumpumpe. Ein solches Komplettsystem ist ein hervorragendes Werkzeug zur Wärmebehandlung anorganischer Compound-Pulver mit überlegener Temperatur und Oberflächenbeschichtung Gleichmäßigkeit.


 
Produktparameter
 
 Struktur

 
Der um 0~25 Grad verstellbare Neigerahmen ermöglicht ein reibungsloses Be- und Entladen von Pulver
Integriertes 300W (13,56MHz) HF-Netzteil mit passendem Netzwerk ermöglicht Die Plasma verbesserte Verarbeitung, die deutlich reduziert den Bedarf für Hochtemperaturprozess
Die Zahnraddrehung der Rohre ermöglicht die Verarbeitung von Pulvern mit „Mischverfahren“ Um die beste Gleichmäßigkeit der Verarbeitung zu erreichen  
Vier-Kanal-Gasmischstation mit MFCs bieten eine präzise Steuerung Der Gaszufuhr
Die Integration von up-Stream Source Evaporation Boot mit Wolfram Spule Ermöglicht die Sublimierung von soliden Vorläufern für die Anforderungen von Hybrid Physikalisch-chemische Verarbeitung

Drehofen Mit Zwei Zonen
 
Arbeitstemperatur: 1200ºC Max (<1hrs). Und 1100ºC für Dauererwärmung  
Zwei PID-Temperaturregler mit 30 Segmenten programmierbar.
Eingangsleistung: 208 - 240VAC, einphasig bei max 2,5KW.
Hochreine Aluminiumoxid-Faserisolierung für maximale Energieeinsparung
Zahnrad-Gleichstrommotor treibt Quarzrohr mit variabler Drehzahl 2 an - 10 U/MIN
Die geteilte Abdeckung ermöglicht eine schnellere Kühlung und eine einfache Bedienung
Zwei Zonen: Jede Zonenlänge 8" (200 mm), insgesamt 16" (400 mm) Heizzone
Konstante Temperaturzone: 200 mm innerhalb +/-1oC, wenn zwei Zonen bei gleicher Temperatur.

Plasma-HF-Stromversorgung
 
 
Ausgangsleistung:        5 -300W einstellbar mit ± 1% Stabilität.
HF-Frequenz:         13,56 MHz ±0,005% Stabilität.
Reflexionsleistung:   Max. 100W
Abgleich:          Automatisch
HF-Ausgangsanschluss:       50 Ω, Typ N, Buchse
Rauschen:            <50 dB.
Kühlung:                  Luftkühlung.
Leistung:                    208-240VAC, einphasig, 50/60Hz
Verdampfungsboot    Arbeitstemperatur: 1100ºC Max (<1hrs). Und 1000ºC für Dauererwärmung  
0,7ml Aluminiumtiegel mit Wolfram Heizspule umgeben.
Thermoelement -Einsatz Typ S für genaue Temperaturmessung des Ausgangsmaterials.
500W DC-Verdampfungsnetzteil mit max. Betriebsstrom @ 30Amps
Dichtflansche
 
Standard: 4'' O.D Fused Quarz Verarbeitungsrohr
Ein Paar 60mm SS Dichtflansch mit drehbarem Gas Nadelventile und sind für den sofortigen Einsatz im Lieferumfang enthalten
Dichtflansche
  
Ein Paar 1'' OD Schnelltrennflansch mit KF25 Die Anschlüsse sind an jedem Ende des Rohrs angebracht
Die Drehkupplung der Magnetdichtung ermöglicht die Drehung des Rohrs, ohne die Vorleitung oder nachgeschaltete Anbaugeräte (wie Gas-, Pulver- und elektrische Zuleitungen) zu verdrehen
Rotationsgeschwindigkeit Der Röhre 0 - 5 U/min variabel
Neigungswinkel Des Ofens 0~30 Grad
Vakuumpumpe Und Messgerät
 
 Die EQ-FYP Hochleistungs-Doppelstufige Vakuumpumpe ist im Lieferumfang enthalten Verkauf
KF25 Adapter und Edelstahlbalg sind zwischen Pumpe angeschlossen Und Rohrflansch
10E-2 Torr Vakuum kann im Bearbeitungsrohr erreicht werden   
Hinweis: Vakuum-Messgerät ist gegen Aufpreis erhältlich

MFC-Gasmischstation  
Im unteren Gehäuse sind vier präzise Massendurchflussmesser (0,02 % Genauigkeit) mit digitalen Anzeigen installiert, um den Gasdurchfluss automatisch zu steuern.  
MFC 1: Gasdurchflussbereich von 0~100 SCCM
MFC 2&3: Regelbereich von 0~200 SCCM  
MFC 4: Regelbereich von 0~500 SCCM
Gaseinlass-/Auslassanschlüsse: 6mm O.D Rohrverschraubung
Leistung: 208-240VAC 50/60Hz
Nadelventile aus Edelstahl für manuelle EIN-/AUSSTEUERUNG der Gasversorgung.
Die große SPS-Steuerung mit Touchscreen ermöglicht einfache Einstellungen der Durchflussrate



Temperaturregelung
  
Zwei Heizzonen mit individueller Temperaturregelung
Präzise PID-Regelung von Heizung, Abkühlrate und Verweilzeit, 30 programmierbare Segmente für  
Integrierter Überhitzungs- und defekter Thermoelementschutz.
Übertemperaturschutz  und Alarm ermöglichen den Betrieb ohne Vermittlung(en).
+/- 1 ºC Temperaturgenauigkeit.
Drei Thermoelemente Typ K (eines für jede Zone).
RS485 Kommunikationsanschluss.
Garantie Ein Jahr beschränkte Garantie mit lebenslanger Unterstützung
 

 
Detaillierte Fotos

 

PE-Hpcvd Rotary Furnace with in-Situ Evaporator, 4 Channel MFC and Vacuum PumpPE-Hpcvd Rotary Furnace with in-Situ Evaporator, 4 Channel MFC and Vacuum PumpPE-Hpcvd Rotary Furnace with in-Situ Evaporator, 4 Channel MFC and Vacuum PumpPE-Hpcvd Rotary Furnace with in-Situ Evaporator, 4 Channel MFC and Vacuum Pump



 
Unternehmensprofil

 


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FAQ

F. sind Sie ein Hersteller oder ein Handelsunternehmen?

A. Wir sind professionelle Laborgerätehersteller, haben ein eigenes Designteam und eine eigene Fabrik, verfügen über ausgereifte technische Erfahrung und können die Qualität der Produkte und den optimalen Preis garantieren.

F. wie ist das Produkt-After-Sales-Service-System Ihres Unternehmens?
A. die Produktgarantie beträgt 12 Monate, wir können lebenslange Wartung bieten. Wir haben professionelle Pre-Sales- und After-Sales-Abteilungen, die innerhalb von 24 Stunden auf Sie antworten können, um technische Probleme zu lösen.

F. wie lange ist Ihre Lieferzeit? Wie lange dauert es, wenn ich das Instrument anpassen möchte?
A,1. Wenn die Ware auf Lager ist, ist es 5-10 Tage. 2. Wir können maßgeschneiderte Dienstleistungen für unsere Kunden bieten. Je nach den Spezifikationen des kundenspezifischen Instruments dauert es normalerweise 30-60 Tage.

Q. Stromversorgung und Stecker unseres Landes sind unterschiedlich. Wie lösen Sie es?
A. Wir können einen Transformator und Stecker nach Ihren lokalen Anforderungen nach dem Netzstecker der verschiedenen Länder liefern.

F. wie zahlen?
A.T / T, L / C, D / P, etc., wird empfohlen, Alibaba Handelsgarantie zu verwenden.

F. wie ist das Paket von Waren? Liefermethoden?
A,1. Standard Export Begasung Zeichen Holzkiste Verpackung 2. Express, Luft, Seefahrt nach Kundenwunsch, finden Sie den am besten geeigneten Weg.

Weitere Fragen, bitte kontaktieren Sie mich.
 

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Hersteller/Werk
Hauptprodukte
Evaporation Coater; Film Coater
Anzahl der Angestellten
13