After-sales Service: | 12 Months |
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Warranty: | 12 Months |
Application: | School, Lab |
Customized: | Customized |
Certification: | CE |
Structure: | Desktop |
Lieferanten mit verifizierten Geschäftslizenzen
1200C PE-HPCVD Drehrohrofen mit in-situ Verdampfer, 4 Kanal MFC und Vakuumpumpe - ist ein 1200ºC drehbares zwei-Zonen Plasma-Enhanced Hybrid-Physikalisch-Chemische Dampfabscheidung (PE-HPCVD) System. Es besteht aus einem Gestellrahmen, 300W RF Plasma Generator & Matching Network, up-Stream Source Evaporation Boat mit Stromversorgung, vier-Kanal MFC Gas Delivery und Hochleistungs-Vakuumpumpe. Ein solches Komplettsystem ist ein hervorragendes Werkzeug zur Wärmebehandlung anorganischer Compound-Pulver mit überlegener Temperatur und Oberflächenbeschichtung Gleichmäßigkeit.
Struktur |
Der um 0~25 Grad verstellbare Neigerahmen ermöglicht ein reibungsloses Be- und Entladen von Pulver Integriertes 300W (13,56MHz) HF-Netzteil mit passendem Netzwerk ermöglicht Die Plasma verbesserte Verarbeitung, die deutlich reduziert den Bedarf für Hochtemperaturprozess Die Zahnraddrehung der Rohre ermöglicht die Verarbeitung von Pulvern mit „Mischverfahren“ Um die beste Gleichmäßigkeit der Verarbeitung zu erreichen Vier-Kanal-Gasmischstation mit MFCs bieten eine präzise Steuerung Der Gaszufuhr Die Integration von up-Stream Source Evaporation Boot mit Wolfram Spule Ermöglicht die Sublimierung von soliden Vorläufern für die Anforderungen von Hybrid Physikalisch-chemische Verarbeitung |
Drehofen Mit Zwei Zonen |
Arbeitstemperatur: 1200ºC Max (<1hrs). Und 1100ºC für Dauererwärmung Zwei PID-Temperaturregler mit 30 Segmenten programmierbar. Eingangsleistung: 208 - 240VAC, einphasig bei max 2,5KW. Hochreine Aluminiumoxid-Faserisolierung für maximale Energieeinsparung Zahnrad-Gleichstrommotor treibt Quarzrohr mit variabler Drehzahl 2 an - 10 U/MIN Die geteilte Abdeckung ermöglicht eine schnellere Kühlung und eine einfache Bedienung Zwei Zonen: Jede Zonenlänge 8" (200 mm), insgesamt 16" (400 mm) Heizzone Konstante Temperaturzone: 200 mm innerhalb +/-1oC, wenn zwei Zonen bei gleicher Temperatur. |
Plasma-HF-Stromversorgung |
Ausgangsleistung: 5 -300W einstellbar mit ± 1% Stabilität. HF-Frequenz: 13,56 MHz ±0,005% Stabilität. Reflexionsleistung: Max. 100W Abgleich: Automatisch HF-Ausgangsanschluss: 50 Ω, Typ N, Buchse Rauschen: <50 dB. Kühlung: Luftkühlung. Leistung: 208-240VAC, einphasig, 50/60Hz |
Verdampfungsboot | Arbeitstemperatur: 1100ºC Max (<1hrs). Und 1000ºC für Dauererwärmung 0,7ml Aluminiumtiegel mit Wolfram Heizspule umgeben. Thermoelement -Einsatz Typ S für genaue Temperaturmessung des Ausgangsmaterials. 500W DC-Verdampfungsnetzteil mit max. Betriebsstrom @ 30Amps |
Dichtflansche |
Standard: 4'' O.D Fused Quarz Verarbeitungsrohr Ein Paar 60mm SS Dichtflansch mit drehbarem Gas Nadelventile und sind für den sofortigen Einsatz im Lieferumfang enthalten |
Dichtflansche |
Ein Paar 1'' OD Schnelltrennflansch mit KF25 Die Anschlüsse sind an jedem Ende des Rohrs angebracht Die Drehkupplung der Magnetdichtung ermöglicht die Drehung des Rohrs, ohne die Vorleitung oder nachgeschaltete Anbaugeräte (wie Gas-, Pulver- und elektrische Zuleitungen) zu verdrehen |
Rotationsgeschwindigkeit Der Röhre | 0 - 5 U/min variabel |
Neigungswinkel Des Ofens | 0~30 Grad |
Vakuumpumpe Und Messgerät |
Die EQ-FYP Hochleistungs-Doppelstufige Vakuumpumpe ist im Lieferumfang enthalten Verkauf KF25 Adapter und Edelstahlbalg sind zwischen Pumpe angeschlossen Und Rohrflansch 10E-2 Torr Vakuum kann im Bearbeitungsrohr erreicht werden Hinweis: Vakuum-Messgerät ist gegen Aufpreis erhältlich |
MFC-Gasmischstation |
Im unteren Gehäuse sind vier präzise Massendurchflussmesser (0,02 % Genauigkeit) mit digitalen Anzeigen installiert, um den Gasdurchfluss automatisch zu steuern. MFC 1: Gasdurchflussbereich von 0~100 SCCM MFC 2&3: Regelbereich von 0~200 SCCM MFC 4: Regelbereich von 0~500 SCCM Gaseinlass-/Auslassanschlüsse: 6mm O.D Rohrverschraubung Leistung: 208-240VAC 50/60Hz Nadelventile aus Edelstahl für manuelle EIN-/AUSSTEUERUNG der Gasversorgung. Die große SPS-Steuerung mit Touchscreen ermöglicht einfache Einstellungen der Durchflussrate |
Temperaturregelung |
Zwei Heizzonen mit individueller Temperaturregelung Präzise PID-Regelung von Heizung, Abkühlrate und Verweilzeit, 30 programmierbare Segmente für Integrierter Überhitzungs- und defekter Thermoelementschutz. Übertemperaturschutz und Alarm ermöglichen den Betrieb ohne Vermittlung(en). +/- 1 ºC Temperaturgenauigkeit. Drei Thermoelemente Typ K (eines für jede Zone). RS485 Kommunikationsanschluss. |
Garantie | Ein Jahr beschränkte Garantie mit lebenslanger Unterstützung |
F. sind Sie ein Hersteller oder ein Handelsunternehmen?
A. Wir sind professionelle Laborgerätehersteller, haben ein eigenes Designteam und eine eigene Fabrik, verfügen über ausgereifte technische Erfahrung und können die Qualität der Produkte und den optimalen Preis garantieren.Lieferanten mit verifizierten Geschäftslizenzen