Plasma Enhanced CVD Coating System zur Abscheidung von Siliziumnitrid, amorphem Silizium und mikrokristallinen Silizium-Dünnschichten

• After-sales Service: 12 Months
• Warranty: 12 Months
• Anwendung: Schule, Labor
• Customized: Customized
• Zertifizierung: CE
• Struktur: Desktop-
• Modell Nr.: CVD tube furnace
• Stoff: Rostfreier Stahl
• Art: Rohrofen
• Gasversorgungssystem: Gasdurchflussmesser
• hf-Ausgangsleistung: 50W
• Kühlmethode: Wasserkühlung
• Vakuumpumpe: Bipolare Drehschieber-Vakuumpumpe
• Betriebstemperatur: <=1200c
• Masse-Durchflussmesser: Drei-Wege-Modus
• hf-Frequenz: 13,56MHz
• Ultimatives Vakuum: 10^-1PA
• Heizzone: Zwei Zonen 200mm+200mm
• Transportpaket: Standard Export Fumigation Sign Wooden Box Package
• Warenzeichen: TN
• Herkunft: Henan China
• HS-Code: 8486209000
• Produktionskapazität: 5000/Month

Produktbeschreibung

Plasma Enhanced CVD Coating System für Abscheidung
Aus Siliziumnitrid, amorphem Silizium und mikrokristallinen Silizium-Dünnschichten

 

Produktbeschreibung

Das Gerät ist ein Plasma-verstärkter chemischer Gasphasenabscheider (PECVD), der mit einem Rolle-zu-Rolle-Bewegungssystem ausgestattet ist. Es wird nicht nur in der kontinuierlichen Wärmebehandlung Prozess der Drahtstange, wie die Herstellung von Kohlefaser, die Modifikation von Legierung und anderen Materialien Drahtstab verwendet, sondern auch für das kontinuierliche Wachstum von Graphen auf der Spule.
Die Anlage besteht aus fünf Teilen: Einem Roll-to-Roll-Bewegungssystem, einem offenen Rohrofen mit 1200ºC2-Heizzone, einem PE-Plasma-Optimierungssystem, einem Vakuumsystem und einem Gasversorgungssystem mit drei-Wege-Protonen-Durchflussmessern. Das gesamte System kann in der Vakuum- / Atmosphärenschutzumgebung arbeiten.
Die Geschwindigkeit der Wicklungsvorrichtung kann von 1 bis 400mm / min eingestellt werden, und der Mechanismus nimmt Rückkopplungseinstellung an, die automatisch die Geschwindigkeitsabweichung korrigieren und die Geschwindigkeitsstabilität der Probe gewährleisten kann, wodurch die Genauigkeit des Experiments gewährleistet wird.

 

Produktparameter

 

1200ºC2-Heizzone offener Rohrofen	Element	Details
	Spannung	AC220V,50Hz
	Max. Leistung	3KW
	Heizzone	Zwei Zonen 200mm+200mm
	Betriebstemperatur	≤1200ºC
	Genauigkeit der Temperaturregelung	±1ºC
	Temperaturregelung	AI-PID 30-stufige Prozesskurve, kann mehrere speichern
	Rohrmaterial	Hochreiner Quarz
	Röhrengröße	Φ80mm Innendurchmesser x 1400mm l
	Versiegelungsmodus	Vakuumflansch aus Edelstahl
	Vakuummessung	Widerstandsmessgerät
	Betriebsgas	Nicht korrosive Gase wie Wasserstoff, Stickstoff, Argon und Sauerstoff
	Vakuumpumpe	Bipolare Drehschieber-Vakuumpumpe
	Ultimatives Vakuum	10^-1Pa
Dreifacher Masse-Durchflussmesser	Element	Details
	Ventiltyp	Nadelventil aus Edelstahl
	Gaskanäle	Drei-Wege-Verfahren
	Druckbereich	0,05~0,3MPa
	Bereich	0~100 SCCM (Ar) 0~200 SCCM(H2) 0~500 SCCM(CH4)
	Durchflussregelbereich	±1,5 %
	Volumen des Mischtanks	750ml
	Gasweg Material	Edelstahl 304
	Rohrschnittstelle	6,35mm Biss-Gelenk
	Stromversorgung	AC220V 50Hz
HF-Leistung	Element	Details
	Ausgangsleistung	500W
	Ausgangsgenauigkeit	±1 %
	HF-Frequenz	13,56MHz
	HF-Stabilität	±0,005 %
	Kühlmethode	Wasserkühlung

 

 

Detaillierte Fotos

 

Unternehmensprofil

 

FAQ

F. sind Sie ein Hersteller oder ein Handelsunternehmen?

A. Wir sind professionelle Laborgerätehersteller, haben ein eigenes Designteam und eine eigene Fabrik, verfügen über ausgereifte technische Erfahrung und können die Qualität der Produkte und den optimalen Preis garantieren.

F. wie ist das Produkt-After-Sales-Service-System Ihres Unternehmens?
A. die Produktgarantie beträgt 12 Monate, wir können lebenslange Wartung bieten. Wir haben professionelle Pre-Sales- und After-Sales-Abteilungen, die innerhalb von 24 Stunden auf Sie antworten können, um technische Probleme zu lösen.

F. wie lange ist Ihre Lieferzeit? Wie lange dauert es, wenn ich das Instrument anpassen möchte?
A,1. Wenn die Ware auf Lager ist, ist es 5-10 Tage. 2. Wir können maßgeschneiderte Dienstleistungen für unsere Kunden bieten. Je nach den Spezifikationen des kundenspezifischen Instruments dauert es normalerweise 30-60 Tage.

Q. Stromversorgung und Stecker unseres Landes sind unterschiedlich. Wie lösen Sie es?
A. Wir können einen Transformator und Stecker nach Ihren lokalen Anforderungen nach dem Netzstecker der verschiedenen Länder liefern.

F. wie zahlen?
A.T / T, L / C, D / P, etc., wird empfohlen, Alibaba Handelsgarantie zu verwenden.

F. wie ist das Paket von Waren? Liefermethoden?
A,1. Standard Export Begasung Zeichen Holzkiste Verpackung 2. Express, Luft, Seefahrt nach Kundenwunsch, finden Sie den am besten geeigneten Weg.

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