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Geprüfter Lieferant ÜBERSICHT --THERMISCHE VERDAMPFUNG
Die thermische Verdunstung ist aufgrund ihrer Einfachheit eine beliebte physikalische Gasphasenabscheidung. Während dieses Prozesses wird ein Material in einer Hochvakuumumgebung durch Joule-Erwärmung des resistiven Bootes, in dem es sich befindet, bis zu seinem Verdampfungspunkt erhitzt. Die verdampften Moleküle reisen dann von der Quelle zum Substrat, wo sie sich zusammen bilden und eine dünne Schicht bilden. Mit dieser Technik können verschiedenste Materialien wie Aluminium, Silber, Nickel, Chrom, Magnesium, Und viele andere.
Eigenschaften der thermischen Verdampfungsbeschichtungsmaschine:
Es gibt drei Gruppen von Verdunstungsquellen in dieser Ausrüstung, die Wolfram Boot Verdunstungsquellen und wassergekühlte Kupferelektroden, die einen maximalen Strom von 260A unterstützen können, und die Heiztemperatur kann bis zu 1800ºC erreichen. Es kann die Verdunstung verschiedener feuerfester Metalle realisieren.Spezifikationen der thermischen Verdampfungsbeschichtungsanlage:
| Vakuum Thermische Verdampfung Beschichter | ||
| Probenbühne | Größe | φ150mm |
| Heizung | Max. 500C | |
| Drehschalter | 0~20rpm, einstellbar | |
| Verdampfungsquelle | Wolfram Boot / Korb * 3 | |
| Leistung | Jede Verdampfungsquelle ist mit einer unabhängigen Stromversorgung ausgestattet, wobei gleichzeitig Verdampfung zur Verfügung steht | |
| Vakuumkammer | Formnest | φ300x400mm |
| Beobachtungsfenster | φ100mm vorne | |
| Hohlraummaterial | SS304 | |
| Öffnen | Öffnen der vorderen Klappe | |
| Kontrolle der Filmdicke | Quarzkristall-Schichtdicken-Monitor, Frequenz 0,10 Å | |
| Vakuumsystem | Reservepumpe | Drehschieberpumpe, 1,1L/s. |
| Auslassöffnung | KF16 | |
| Sekundärpumpe | Molekularpumpe, 600L/s. | |
| Auslassöffnung | CF160 | |
| Vakuummessung | Komposit-Vakuummesser | |
| Ultimatives Vakuum | 5,0E-4PA | |
| Steuerungssystem | SPS+ Touchscreen | |
Andere |
Versorgungsspannung | AC380V,50Hz |
| Gesamtgröße | 1000mm X 800mm X 1500mm | |
| Gesamtleistung | 7kW | |
| Gesamtgewicht | 350kg | |
1. Wir haben thermische Verdunstung Beschichter mit 1/2/3/4/8... Verdunstungsquellen, kann Verdampfung Metall und organisches Material
2. Kammermaterial: Hochreiner Quarz--- niedriges Vakuum, SS304 Kammer-- hohes Vakuum
3. Film Dickenmonitor ist optional
4. Thermische Verdampfung, E-Strahl, Magnetron Sputtern in einer Maschine ist verfügbar
5. Verschiedene Materialien der Verdampfungsquelle ist verfügbar
6. Passen Sie thermische Verdunstung Coater nach Ihrem Prozess zur Verfügung steht
Zhengzhou Tainuo Film Materials Co., Ltd ist ein umfassendes Unternehmen, das Design, Forschung und Entwicklung, Produktion und Vertrieb integriert.
Die Hauptprodukte unseres Unternehmens sind: Spinsenat, thermische Verdunstungsanlage , Magnetron Sputter Beschichter, Plasma Sputter Beschichter, E-Beam Verdunstungsanlage, PLD Pulse Laser Coating Maschine, Plasma-Reiniger, CVD-System, PECVD -System, Diamant-Draht-Schneidemaschine, Schmelzofen / Ofen, Lichtbogen Schmelzofen, etc.
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