Kundendienst: | 12 Monate |
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Garantie: | 12 Monate |
Art: | Coating Sputtering |
Bescheinigung: | CE |
Probengröße: | φ138mm |
Heiztemperatur: | max. 500ºC |
Lieferanten mit verifizierten Geschäftslizenzen
Dies ist eine kostengünstige Plasmasputter-Beschichtungsanlage, die von unserem Unternehmen unabhängig entwickelt wurde. Es hat die Vorteile der kompakten Struktur, einfach zu bedienen, hohe Integration und starke Sinn für Design. Das Plasma Sputtering Ziel ist eine Standardgröße von 2 Zoll. Kunden können verschiedene Konfigurationen von 1~3 Targets nach ihren Bedürfnissen wählen, um die unterschiedlichen experimentellen Bedürfnisse von einschichtigen oder mehrschichtigen Folien aus verschiedenen Materialien zu erfüllen.
Das Gerät ist mit einer 150W-DC-Hochspannungsversorgung ausgestattet, die für die Metallsputterbeschichtung, insbesondere für die Beschichtung von Metallen wie Gold, Silber und Kupfer, eingesetzt werden kann. Dieser Folienbeschichter ist mit einem Gasanschluss für die Einleitung von Schutzgas ausgestattet. Wenn der Kunde die Mischgase passieren muss, kann das Personal kontaktiert werden, um den hochpräzisen Massendurchflussmesser für die experimentellen Anforderungen zu konfigurieren.
Anwendung eines einzigen Zielkopfplasma Sputterbeschichtungsstrahlers:
Es kann für die Metallsputterbeschichtung verwendet werden, insbesondere für Metallbeschichtungen wie Gold, Silber und Kupfer.
Produktmodell | TN-PLZ180-III-DC-Q | |
Probenbühne | Größe | 100mm |
Abstand zwischen Probenbühne und Zieloberfläche | 20~35mm höhenverstellbar | |
Drehgeschwindigkeit | 1~20rpm einstellbar | |
Heiztemperatur | ≤500ºC | |
Genauigkeit der Temperaturregelung | ±1ºC PID-Temperaturregelung | |
Plasmasputterquelle | Menge | 2 Zoll * 3 |
Kühlmethode | Natürliche Kühlung | |
Vakuumkammer | Kammergröße | φ180mm x 200mm |
Beobachtungsfenster | Omnidirektionale Sichtbarkeit | |
Kammermaterial | Hochreiner Quarz | |
Methode öffnen | Obere Abdeckung abnehmbar | |
Material der oberen und unteren Abdeckung | Edelstahl 304 | |
Pumpenanschluss | KF16 | |
Einlassöffnung | 1/4-Zoll-Aderendhülse | |
Stromversorgung | Menge | Gleichstromversorgung supplyx1 |
Ausgangsleistung | Max. 150W | |
Sputterleistung | 1200V | |
Max. Sputterstrom | 50mA | |
Vakuumsystem | Typ der Vakuumpumpe | Zweistufige Drehschieber-Vakuumpumpe |
Pumpenanschluss | KF16 | |
Abgasschnittstelle | KF16 | |
Förderleistung | 1,1l/s (4 m3/h) | |
Ultimatives Vakuum | ≥0,1Pa | |
Vakuummessung | Widerstandsmanometer | |
Andere | Stromversorgung | AC 220V 50Hz |
Gesamtleistung | 1,5kW/2kW | |
Abmessungen | 570mm * 450mm * 500mm | |
Gewicht | 30kg |
F. sind Sie ein Hersteller oder ein Handelsunternehmen?
A. Wir sind professionelle Laborgerätehersteller, haben ein eigenes Designteam und eine eigene Fabrik, verfügen über ausgereifte technische Erfahrung und können die Qualität der Produkte und den optimalen Preis garantieren.Lieferanten mit verifizierten Geschäftslizenzen