Aufgeteiltes Handschuhschachtel-thermisches Verdampfer-thermischer Widerstand-Verdampfung-System für Laborlithium-Batterie-Solarzellen-Herstellung

Einleitungen:
*The ZHDS400 hohes Vakuumhandschuhfach-thermischer Verdampfer ist eine organische Kombination des Nanofilm Absetzungsystems und des Handschuhschachtelsystems, die in einer trä Gen Gas-geschü Tzten Umgebung fü R Laden verwendet werden kann und ersetzen und aus Substratflä Che- oder Materialarbeiten heraus und so weiter nehmen. Der Arbeitsbereich des Edelgases und das ö Lfreie Vakuumsystem lassen das Beschichtunggerä T die hohes Vakuumumgebung schneller erreichen

*The Gerä T wird mit 4 bis 6 Gruppen Verdampfungquellen ausgerü Stet, die Kombination der Konfiguration ist flexibel und mit einlagiger Verdampfung, multi-source Coverdampfung, getrennte Funktionen der Schichtbeschichtung und so weiter

*The organische Kombination der Verdampfungbeschichtung und der Handschuhschachtelumgebung kann Verdampfung, Einschalung erzielen, bereitet Prü Fung und andere das nahtlose Ankern auf, das in der Solarzelle des organischen und anorganischen Perowskits, in der Lithiumbatterie, OLED im Dü Nnfilm und in anderen Forschungssystemen am meisten benutzt ist, kö Nnen in der optoelektronischen Einheitvorbereitung des nano-dü Nnen Filmes auch verwendet werden und Produktionszweig von aufbereiten Prü Fung

* Geeignet fü R niedriges Schmelzpunktmetall des Ü Berzuges und materiellen Film der Legierung, einlagiger/mehrschichtiger/zusammengesetzter Film, wie: Kupfer, Aluminium, Gold, Silber, Barium, Wismut, Zink, Antimon, ETC…
  Geeignet fü R Solarzellen, LED-Forschung und Experiment;
  Geeignet fü R Verdampfung der organischen Materialien und so weiter;
  Geeignet fü R den Ü Berzug des nichtmetallischem/des Mittels und so weiter materiellen Dü Nnfilms, wie: Molybdä Noxid, Lithiumfluorid, etc.;
  Geeignet fü R Beispielvorbereitung des Rasterelektronenmikroskops, ETC…

Technische Parameter:

Gerä Ten-Name:       Thermischer Verdampfer mit Handschuhfach
Modell:                           ZHDS400
Beschichtung-Methode:           Multi-source Verdampfungbeschichtung
Raum-Zelle:       Kastenä Hnliche vordere und hintere Klappenstruktur, ausgerü Stet mit Handschuhfach
Raum-Grö ß E:               L400× W440× H450mm
Glü Htemperatur:     Raumtemperatur zu 300º C
Drehender Substratflä Che-Halter:             120mm× 120mm
Substratflä Che-Halter-Aufzug:                       Die anhebende Hö He zwischen 0-80mm manuell einstellen
Schichtstä Rken-Ungleichmä ß Igkeit:         ≤ ± 5.0%
Verdampfung-Quelle:       2 Gruppen Metalquellen, 2~4 Gruppen der organischen Quellen
Steuermethode:             Plc-Steuerung
Besetzter Bereich:                 (Groß Rechner) L1100× W780× H1800mm, Handschuhfachgrö ß Enzoll
Wahlweise freigestellt:                                             Luft abgekü Hlter Kü Hler, Schichtstä Rkenmonitor, Luftverdichter