Produktbeschreibung
Jinan ACME MW1070 MPCVD-Maschine |
Vakuum |
Vakuummessung |
Piezoresistiver Messbereich 0,1-100kPa Kapazitätsmesser 0-1000Pa |
Betriebsdruckbereich |
4-28Kpa |
Vakuumleckrate |
≤ 5 * 10-9Pa.M3/S (He-Leckerkennung) |
Druckregelung |
Automatische Steuerung |
Hohlraummaterial |
Anregungskammer aus Aluminiumlegierung, Quarzvakuumkammer |
Beobachtungsfenster |
Temperaturmessöffnung mit Durchmesser 10mm und Sichtfenster Poröses Loch |
Kühlmodus |
Kühlmodus |
Wasserkühlung + Luftkühlung der Kammer |
Größe der Probentabelle |
Molybdän-Stufe Φ 70mm, einheitliche Fläche Φ 50mm |
Temperaturmessung |
Infrarot-Thermometer, Bereich 300-1400 ºC |
Kühlwasserfluss |
>50L/min |
Kühlwassertemperatur |
20 22ºC |
Kühlwasserschnittstelle |
1-Zoll-Schnittstelle für Außenleiter |
Betriebssystem |
Betriebssystem |
SPS-Steuerung, 15 Zoll Touchscreen-Steuerung |
Menü „Prozess“ |
10 Prozessmenüs, je 25 Zeilen |
Mikrowelle und Stromversorgung |
Mikrowellenfrequenz |
2,45±0,1GHz |
Ausgangsleistung |
1,5-7,5kW (mit 10kw Haushaltsmikrowellenstromversorgung) |
Eingangsstrom |
380 AC/50Hz, dreiphasig, 5-adrig (3 * 10+2 * 6-Stromleitung),>15kW |
Leckrate der Mikrowelle |
Mikrowellenauslaufrate 5cm weg von der Ausrüstung ≤ 5mW/cm2 |
Prozessgas |
Durchflussmesser und Schnittstelle |
H2 (1000SCCM) CH4 (50SCCM) N2 (10SCCM) O2 (10SCCM) 1/4 „VCR Druckluftröhrchen-Schnellstecker, Buchse, 8mm Pu |
Der Durchflussmesser kann die Art des verwendeten Gases durch ändern Software |
Luftdruck |
0,3-0,35MPa |
Druckluftdruck |
0,5-0,6MPa |
Vakuumpumpe |
Drehschieber-Vakuumpumpe |
Ölpumpe |
Pumpgeschwindigkeit |
4L/S |
Stromversorgung |
AC 380V (±10 %) |
Schnittstelle |
Luftabsaugung KF25, Luftabsaugung KF25 |
Betriebsumgebung |
Umgebungstemperatur und Luftfeuchtigkeit |
Die Raumtemperatur liegt unter 26 ºC und die luftfeuchtigkeit ist niedriger als 40% |
Gesamtabmessungen der Ausrüstung |
Größe |
1250 (L)×800 (B)×2100 (H) MM |
Gerätedarstellung |
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Bedingungen für die Abnahme von Geräten: |
1. Geräteinstallation: Nach Abschluss der Geräteinstallation führen Partei A und Partei B die Inbetriebnahme vor Ort durch, und die Techniker von Partei B führen für die für Partei A verantwortliche Person eine Schulung zum Betrieb, zur Sicherheit und zur Wartung der Geräte durch |
2. Systemtest: Das System kann normal gestartet und betrieben werden, und der abgelöste Feuerball ist stabil, ohne zu springen. |
3. Mikrowellenleck: Die Mikrowellenleck ist weniger als 5mW/cm2 (die Ausgangsleistung der Mikrowellenquelle ist mehr als 80%, 10cm weg von der Ausrüstung) |
Zertifizierungen
Unternehmensprofil
ACME ist ein Engineering-, Fertigungs- und Beratungsunternehmen für Stromversorgungsprodukte, ein Weltklasse-Hersteller und Anbieter für AC stabilisierte Frequenz Stromversorgung, variable Frequenz Stromversorgung, dedizierte WENN statische Stromversorgung, DC-Stromversorgung, Wechselrichter Stromversorgung, Schaltnetzteil (SMPS), 25Hz~1kHz unterbrechungsfreie Stromversorgung (USV), Notstromversorgung (EPS), energiegespeiste elektronische Last, Blindstromversorgung und andere umfassende Stromversorgung.
Durch die technische Akkumulation und die Talentreserve hat das Unternehmen ein Team von hochqualifizierten Führungs- und F&E-Talenten ausgebildet. Die starke Investition in Forschung und Entwicklung macht die Produkte ständig aktualisiert, um die verschiedenen Bedürfnisse der Nutzer zu erfüllen.
International ausgezeichnet zu sein,′s das Ziel des anhaltenden Kampfes des Unternehmens. ACME Power-Produkte wurden in den Bereichen Information, Haushaltsgeräte, Luftfahrt, Luft- und Raumfahrt, Eisenbahn, Strom, Telekommunikation, Erdöl, Chemie, Kohle, Finanzen, Wertpapiere, Radio und Fernsehen, Qualitätsprüfung, öffentliche Sicherheit, Schiffbau, Medizin und Gesundheit, Behörden, Bildung und andere Systeme und Branchen, und haben einen guten Ruf.
Kundenzufriedenheit ist unser oberstes Ziel!
