Anpassung: | Verfügbar |
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Bescheinigung: | ISO 9001, CCC, jis |
Schutz: | Korrosionsbeständigkeit |
Lieferanten mit verifizierten Geschäftslizenzen
Von einer unabhängigen externen Prüfstelle geprüft
Elektronenemitter/Beschleunigungsspannung
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TFE (ZrO/W)/5 bis 50kV
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Min. Strahldurchmesser
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2,0nm (für Wissenschaft und Forschung und Entwicklung)
4,0nm (für Produktion) |
Erweiterte Lithographie
Funktionen (optional) |
Feldgröße Modulation Lithographie, axiale Symmetrie Muster Lithographie
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Feldgröße
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30μm – 1000μm (50kV) (für Wissenschaft und Forschung und Entwicklung)
30μm - 1500μm (50kV) (für Produktion) |
Größe des Werkstücks
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4,6, 8inchΦ
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CAD-Software
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Dediziertes CAD (Standard), GDS II-Konvertierung (optional),
DXF-Konvertierung (optional) |
BETRIEBSSYSTEM
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Fenster
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UI
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Englisch
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