2023 Chinesische wirtschaftliche Fackel Offline Vakuum Plasma Reinigungsmaschine verwendet Für die Plasma-Oberflächenbehandlung in Glassubstrat
Gerätename: Offline Vakuum Plasma-Reinigungsmaschine Modell Nr.: VPC42 Hersteller : Beijing Torch SMT Incorporated Company
I. Gerätename, Typennummer, Ursprung und Lieferdatum 1,1 Ausstattungsname: Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine 1,2 Modell -Nr.: VPC42 1,3 Herkunft (Land, Hersteller): Beijing Torch SMT Incorporated Company 1,4 Liefertermin: 4-8 Wochen nach Vertragsschluss 1,5 hauptsächlich für die Plasma-Oberflächenbehandlung in Halbleitergehäusen wie Siliziumwafer, Glassubstrat, Keramiksubstrat, IC-Trägerplatte, Kupferbleirahmen, Großformatige einseitige Substrat-Power-Board, IGBT-Modul, MEMS-Sensor mit Halterung, Mikrowellengerät, Filter, HF-Gerät, etc. II Wichtigste technische Leistungsparameter: 2,1 Volumen der Vakuumkammer: 42L 2,2 Grad Vakuum: Der maximale Vakuumgrad von VPC42 Plasma-Staubsauger beträgt Weniger als 2 Pa (mechanische Trockenpumpe 40L/min) 2,3 effektiver Reinigungsbereich: Einzelreinigungsbereich: 350 *350mm 15 Schichten: 15mm Intervall: 40kHz 2KW Zwischenfrequenz (Oberflächenbehandlung) 5 Schichten: 50mm Intervalle, 13,56HZ 300W Hochfrequenz (Volumenverarbeitung, mit Wasserkühlung) 2,4 Höhe der Vakuumkammer: Kammerhöhe: 350mm (effektive Größe) 2,5 Reinigungstemperatur: Reinigung bei niedrigen Temperaturen (unter Raumtemperatur). 2,6 Reinigungsfrequenz: 30-120s 2,7 Reinigungseffekt: Der Dynwert kann 70 erreichen. Der Wasserfallwinkel beträgt 15 Grad und kann innerhalb von 10 Grad optimal gesteuert werden (Werkstatt mit Luftreinheit der Klasse 100 staubfrei kann innerhalb von 4 Stunden gereinigt werden) 2,8 Gas kann verwendet werden: Argon, Stickstoff, Sauerstoff, Stickstoff-Wasserstoffgemisch, Wasserstoff und Tetrafluorid, etc. 2,9 VPC42 Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine ist mit Software-Steuerung ausgestattet: Das Software-Steuerungssystem ist einfach zu bedienen, es ermöglicht die Anbindung von Steuergeräten, verschiedene Reinigungsprozesskurven können eingestellt werden, Kurven können eingestellt, geändert, gespeichert und für die Verwendung nach verschiedenen Prozessen ausgewählt werden; die Software verfügt über eine eigene Analysefunktion, die die Prozesskurve analysieren kann. Das Softwareregler-System zeichnet automatisch die Daten des Reinigungsprozesses, der Temperaturkurve, der Zeit und des Alarms in Echtzeit auf, um die Rückverfolgbarkeit des Reinigungsprozesses zu gewährleisten. 2,10 die Ausrüstung muss nicht kalibriert werden, sodass keine Kalibriergebühren mehr anfallen. 2,11 Leistungsaufnahme im Betrieb: 2,5kW, ohne Stromverbrauch des Kühlers (Zwischenfrequenz) 1,5kW, ohne Stromverbrauch des Kühlers (Hochfrequenz) 2,12 die Funktion des Übertemperaturalarms und der Aufzeichnung. (Standardkonfiguration) VPC42 Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine ist mit Werkstückoberfläche über Temperaturschutz, Alarm, Temperaturschutz und Aufzeichnung der gesamten Maschine während des Reinigungsprozesses funktioniert. 2,13 Stickstoff, Argon und andere Flussmanagement- und Analysesysteme (Software + Hardware). (Optional) Die VPC42 Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine wird durch Echtzeitmanagement und Analyse von Prozessgasen wie Stickstoff und Argon, die von der gesamten Maschine verbraucht werden, betrieben und kann den Gasverbrauch, den täglichen Verbrauch, den wöchentlichen Verbrauch und den unterschiedlichen Zeitzeitverbrauch in Echtzeit aufzeichnen und analysieren. 2,14 Prozessgasdruck-Alarmfunktion und Analysesystem (Software + Hardware). (Optional) Die VPC42 Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine wird durch Unterspannungsalarm, Aufzeichnung und Analyse der Prozessgasquelle im Produktionsprozess der gesamten Maschine, die sehr nützlich für die Rückverfolgbarkeit der Produktqualität ist, funktioniert. 2,15 Energiemanagement- und Analysesystem (Software + Hardware). (Optional) VPC42 Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine wird durch Echtzeit-Management und Analyse des Energieverbrauchs funktioniert, und kann die Aufzeichnung von Echtzeit-Stromverbrauch, täglichen Stromverbrauch, wöchentlichen Stromverbrauch, Zeitraum Stromverbrauch, etc. Analysieren 2,16 mit ausgangssägischem Management- und Analysesystem (Software + Hardware). (Optional) Die Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine VPC42 hat die Funktion des Echtzeit-Managements und der Analyse der Ausgabe der Vakuumverarbeitungsprodukte der gesamten Maschine. Es kann die Echtzeit-Schichtausgabe, die tägliche Ausgabe, die wöchentliche Ausgabe und die monatliche Ausgabe protokollieren und analysieren, um die Produktqualität und -Analyse zu gewährleisten. 2,17 MES-Datenschnittstellen-Subsystem (Software + Hardware). (Optional) Die VPC42 Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine wird auch über die MES-Datenschnittstelle der gesamten Maschine gesteuert, und das MES-System kann ausgewählt und konfiguriert werden, um verschiedene Datenerfassung und Analyse intelligenter Geräte durchzuführen. 2,18 Gesamtabmessungen: 850*960*1680mm (ohne Alarmleuchte) 2,19 Innere Struktur: Siehe die richtige Abbildung
III Grundzusammensetzung und Konfiguration:
Nein
Beschreibung
Konfiguration
menge
1
Plasma-Reinigungsmaschine absaugen
Hauptmaschine
1set
2
Plasma-Stromsystem
Standardkonfiguration
1set
3
Temperaturmesssystem
Standardkonfiguration (2 Temperaturmessthermoelement-Gruppen, 1 für den Einsatz, 1 für die Sicherung)
1set
4
Vakuumsystem
Standardkonfiguration
1set
5
Mechanische Pumpe
Standardkonfiguration
1set
6
Wasserkühlsystem
Standardkonfiguration (Industrielle Kühlmaschine ist ausgeschlossen)
1set
7
Industrielle Kühlmaschine
Optional
1set
8
Prozessgasanlage
Standardkonfiguration (Prozessgasleitung und Schnittstelle)
1set
9
Schutzsystem für Stickstoffatmosphäre
Standardkonfiguration (ohne Stickstoffversorgung)
1set
10
Software-System für die Plasmareinigung
Standardkonfiguration (Steuerungssoftware)
1set
11
Industriecomputer
Standardkonfiguration
1set
12
Plasma
Standardkonfiguration
1piece
13
Temperaturmesssensor (Ersatzteile)
Standardkonfiguration
2
14
Kühlleitung (Ersatzteile)
Standardkonfiguration
2
15
Prozessgasvolumen-Management und Analysesystem
Optional
1set
16
Prozessgasdruck-Alarm- und -Analysesystem
Optional
1set
17
Energiemanagement- und Analysesystem
Optional
1set
18
Sauerstoffgehalt Management und Analyse-System
Optional
1set
19
MES -Datenschnittstellensystem
Optional
IV VPC42 Technische Parameter
Marke
Hersteller
Beijing Torch SMT Incorporated Company
Anmerkungen
Kurze Einführung
Ursprung
Peking
Schlüsselkomponenten
Temperatursensor
US-OMEGA
Vakuumpumpe
KYKY/BSC
Kugelventil
Japan Marke
Corossion-Widerstandsventil
Japan Marke
Niederspannungs-Elektrosystem
SCHNEID.
Botton-Schalter
Taiwan JICTEN/SCHNEID.
Magnetischer Näherungssensor
Omron
Heizung
TASCHENLAMPE
Wichtiger technischer Index
Temperatur
Reinigung bei niedrigen Temperaturen, Temperatur wird unter Raumtemperatur gehalten
Min. Vakuumgrad
5Pa
Sauerstoffgehalt
<1ppm
Produktionseffizienz
20-120S
Index der wichtigsten Prozesse
Rückverfolgbarkeit der Qualität
1. Prozess Gasdruck Alarm-Datensatz. 2. Sauerstoffgehalt Alarm-Aufzeichnung. 3. Temperatur über Temperatur Alarm aufzeichnen. 4. Alarmaufzeichnung der Nichteinhaltung des Vakuumwertes
Intelligenz und Informatisierung
1.Intelligente Funktion. Wenn eine der 4 oben genannten Indikatoren den Standard nicht erfüllt oder einen Alarm ausgibt, wird ein allgemeiner Alarm und eine Aufforderung zur Produktionsstopp angezeigt, um die Produktionsqualität zu gewährleisten. 2. Energiemanagementsystem, Stromverbrauch und Stickstoffverbrauch werden im Energiemanagementsystem in Echtzeit gezählt und angezeigt. 3. Alle oben genannten Informationen können über eine Datenschnittstelle nahtlos an das MES-System angeschlossen werden, um die Entscheidungsfindung und das Management des Managementteams zu erleichtern.
Einrichtungen
Leistung
380VAC,20A
Gas
Druckluft (CDA)0,5Mpa
Stickstoff
0,5MPa
Vakuum
Ausgestattet mit Vakuum-Trockenpumpe
Hinweis: Die Steuerungssoftware für die Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine der Beijing Torch SMT Incorporated Company wird von der Beijing Torch SMT Incorporated Company eigenständig entwickelt und die Beijing Torch SMT Incorporated Company verschließt das Recht auf Software-Registrierung ohne Fremdzertifizierung.
Die Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine der Beijing Torch SMT Incorporated Company hat bereits eine Reihe nationaler Patente erhalten. Bitte nicht kopieren!!
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